中古 SSEC 3300 #9302848 を販売中

SSEC 3300は、粒子、有機化合物、その他の汚染物質を除去するために設計されたウェーハ/マスクスクラバーで、感光面の品質を低下させたり、リソグラフィ工程中の歩留まりに悪影響を及ぼす可能性があります。この装置は、ウェーハやマスクから汚染物質を除去するために3つの異なる湿式化学および洗浄バスを使用する3段階のプロセスで構成された片面平面（SSP）回転子です。3300には、最大6つの300mmウェーハまたはマスクを収容する主要なウェーハ/マスク処理チャンバー、2つの150mmウェーハまたはマスクを収容するための補助チャンバー、2つの450mmウェーハまたはマスクを収容するための3番目の大きなサイクルコンテナが含まれています。システムのウェットベンチには、リフト機構と蒸気発生器、温度および圧力センサーも含まれています。ウェーハ/マスクスクラビングプロセスには、以下の3つのステップがあります。事前洗浄ステップでは、ウエハ/マスクを超純水に浸して粒子を除去し、ウエハ/マスクの表面から有機化合物を除去します。この後、ウェーハ/マスクは溶媒のような半水性の化学ベースの溶液で洗浄され、ウェーハ/マスクから粒子、有機化合物およびその他の汚染物質を乳化して除去します。最後に、ウエハ/マスクを2つ目の超純水浴で洗浄し、残りの汚染物質を除去します。また、SSEC 3300は強力な空気伝導循環ユニットを備えており、チャンバー内のソリューションが常に動作し、一貫した温度であることを保証します。これは、ウェーハ/マスクのスクラビングプロセスを増加させるのに役立ちます。さらに、ウェーハ/マスクの自動積み下ろしツールも搭載しており、ウェーハ/マスクのスクラビング工程の効率が向上します。アセットは操作が簡単で、特定のアプリケーションの特定のスクラビングニーズにカスタマイズできます。人間工学に基づいた設計は、オペレータの快適性を高め、疲労を軽減するのにも役立ちます。最後に、3300は耐腐食性材料から構成されているため、リソグラフィープロセスの過酷な腐食環境に耐えることができます。