中古 SSEC 3300 #9302847 を販売中
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SSEC 3300は、標準的な半導体基板をリソグラフィ処理用に洗浄するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。低圧定格トルクガラスローラーシステムを採用し、基板から粒子や破片を取り除くことができます。スクラバーはまた、さまざまなレベルのスクラブ圧力を平坦面または曲面に適用できるように、プログラム可能な設定を選択できます。スクラブ圧力は、基板の完全性を維持しながら最大の効率を確保するために調整することができます。ユニットはクリーンルーム環境で動作し、静的な蓄積と汚染を低減するためにテフロンコーティングされたステンレス鋼プラットフォームとローラーで構築されています。テフロンコーティングは、残留物の蓄積がないため、基板を徹底的に洗浄するのに役立ち、生産上の欠陥につながる可能性があります。この機械には、空気中の微生物を殺し、汚染の可能性を低減するのに役立つ紫外線(UV)ライトも装備されています。3300はまた粒子および残骸を集め、基質からの完全な取り外しを保障するために大容量の真空が装備されています。これは、基板を簡単に洗浄するための調整可能な速度制御攪拌機構を備えています。さらに、調整可能な速度制御により、クリーニングの制御パターンが可能になり、廃棄物を減らし、生産プロセスからの歩留まりを改善することができます。このツールは、自動的に動作するように簡単にプログラムすることができ、生産ラインに簡単に統合することができます。耐久性、信頼性、操作が容易に設計されており、生産ライン内のさまざまな洗浄プロセスに使用できます。さらに、SSEC 3300は、さまざまな種類の基板やアプリケーションのカスタムプログラマビリティを可能にし、汎用性と便利なツールになります。全体として、3300は、標準的な半導体基板に適した効率的で効果的な高性能な資産です。その可変スクラブ圧力と調節可能な速度制御攪拌機構は、基板の整合性を確保しながら、優れた粒子と破片の除去を可能にします。その耐久性、低メンテナンス構造、信頼性の高いパフォーマンス、包括的なプログラマビリティにより、SSEC 3300はあらゆるリソグラフィ生産ラインに最適です。
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