中古 SSEC 3300 #9225597 を販売中

SSEC 3300は、Suss MicroTec、 Inc。が製造するウェーハおよびマスクスクラバーです。これは、デバイス製造プロセス中にフォトレジストを適用する前にウェーハやマスクの表面汚染を低減するように設計されています。3300は超音波とジェットスクラビング技術を組み合わせて、基板の損傷を最小限に抑えた高品質な結果を実現します。SSEC 3300は、5.5kWの消費電力と3.2MPaの定格圧力で動作します。最大128の異なるクリーニングサイクル設定と5つのノズル構成のクリーニング変数を提供します。このユニットには、調整可能な振動周波数が装備されており、スクラバーパラメータの優れた制御を提供します。スクラバーは直径200mmのクリーニングベッドで設計されており、最大20ウェーハ/マスクの容量があります。また、ウェーハの積み降ろし用の3軸ロボットアームも備えています。3300は、ターボ分子真空ポンプを使用して、閉じたチャンバーに高レベルの真空を作成します。これは、スクラブ処理中に粒子、破片、およびその他の小さな粒子がウェーハから完全に除去されるようにするために必要です。真空機能はまた、スクラビングソリューションをターゲット領域にプッシュします。これにより、スクラビングプロセスが非常に効果的になり、滅菌ポケットが残っていないことを保証します。スクラバーの圧力制御装置は、各サイクルの間にウェーハとマスクの表面全体にスクラブ圧力を均一に分布させるように設計されています。SSEC 3300には、動作圧力、水流量、温度などのパラメータを正確に監視するモニタリングシステムもあります。これにより、一貫した高品質の結果が保証されます。3300は、スクラバーのすべてのパラメータを制御および監視するためのプログラマブルロジックコントローラで設計されています。これは、一貫した結果と効率的な操作を提供するのに役立ちます。さらに、このユニットには、放射線殺菌のための高度なUV LEDユニットがあります。この機械は汚染を最小にするために洗浄の後でウェーハおよびマスクを殺菌するのに使用することができます。全体的に、SSEC 3300は、デバイスの製造中にフォトレジストを適用する前に汚染を低減するように設計された効果的なウェーハおよびマスクスクラバーです。その高度な技術により、優れた表面洗浄だけでなく、パラメータの正確な監視と制御を提供しています。それは効率的な操作、一貫した結果および良質の終わりを提供するように設計されています。