中古 SSEC 3300 #293628379 を販売中

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ID: 293628379
Wafer cleaner.
SSEC 3300は、Surface Processing Technologies (SPT)によって開発されたウェーハおよびマスクスクラバーです。半導体やフォトマスク表面の粒子を徹底的に洗浄・除去する自動化機械です。堅牢な自己封止装置は、ウェーハやデバイス表面に高精度の粒子や粉塵除去を提供し、顧客満足度のために迅速かつ再現可能な結果を可能にします。このシステムには、表面洗浄技術と変更された空気支援プロセスが組み込まれており、最小の粒子と汚染物質を除去し、基板とデバイス表面を清潔で手つかずに保ちます。3300は半導体、データメモリ、光電子、および表示製造業の使用のために設計されています。それは3段階のクリーニングプロセスを利用します;最初の段階は0。05ml/minの率で排水を含んでいます。第2段階はゴミを取り除くためのフィルターを備えた回転スクラバー、第3段階は最初の2段階の後に残った水分と粒子を蒸発させるためのアトマイザーとドライヤーです。SSEC 3300は、直感的なタッチスクリーンディスプレイを内蔵し、クリーニングプロセスを監視します。このユニットには、自動濡れ、スクラブ、および乾燥機能に加えて、リアルタイムの粒子カウンターモニタリングと最大500セットの以前の結果のストレージ容量が含まれています。また、低酸素拡散室を採用し、空気中の粒子を最小限に抑えるためにEU302ろ過式排気装置を備えています。ウェーハおよびデバイス表面は、3300のエアーアシスト処理による損傷から保護されています。これにより、手動スクラブの必要がなくなり、プロセス精度、安全性、および環境コンプライアンスが向上します。このツールはまた、1時間あたり最大30ウェーハの迅速な洗浄を可能にし、追加の環境制御なしで40°Cの周囲温度で動作します。SSEC 3300はメンテナンスが容易で、継続的な運用には最小限の維持が必要です。セルフチェックアセットとエラー表示で設計されており、厳格な品質基準を持つ企業に完全なモデル制御、精度、再現性を提供します。この装置は、ダイナミックなカスタマイズとフィットメントも可能で、各顧客が特定のニーズに合わせてシステムを調整することができます。
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