中古 SSEC 3300 #293593176 を販売中

SSEC 3300ウェーハ&マスクスクラバーは、微細な半導体ウェーハおよびフォトマスクブランクから粒子汚染を除去するために使用される高精度の自動洗浄装置です。このシステムは、高度なロボティクス、PLCコントローラ、およびPCインターフェイスで設計されており、クリーニングの一貫性と精度を実質的に保証します。3300は2つのスクラブ技術の1つを利用します：接触スクラブまたはローカライズされたスクラブ。接触スクラビングプロセスは、指定された経路に沿って移動するように設計された事前にプログラムされたCNCソフトウェアによって制御された複数のロボットアームを利用します。各アームは目的のルートに沿って移動するため、ロボットアームの端に取り付けられたスクラビングヘッドはローラースキージを使用してウェーハから粒子を除去します。ローカライズされたスクラブは、フォトマスクブランクなどの非常に繊細な基板の機械的洗浄に一般的に使用される、より正確なポイントソースのスクラブ処理プロセスです。ローカライズされたスクラブでは、複数の小さな洗浄マイクロウォッシュレットを備えた固定式スクラビングヘッドからスクラビングアクションが生成されます。さらに、ローカライズされたスクラブは氷冷機能を提供し、プロセスが凍結のすぐ上の非常に低温で発生し、基板を損傷させる可能性をさらに最小限に抑えることができます。どちらの工程でも、新鮮な液体を導入し、使用済みの液体や粒子の破片を除去する再循環ユニットを介してスクラビングヘッドに液体洗浄ソリューションを提供します。使用された液体は、内蔵のろ過機を介して洗浄され、スクラビングプロセスに再導入されます。SSEC 3300は、ウェーハサイズ、ジオメトリ、化学的互換性、ツーリングの変更、化学濃度の完全な柔軟性を提供します。このツールは、個々のユーザーの仕様に合わせて簡単に調整することもできます。包括的な通信およびオペレータ通知システムと組み合わせると、3300は高い信頼性と洗浄精度の両方を提供します。SSEC 3300の特許取得済みの設計により、手動システムに関連するユーザーが生成したエラーが大幅に低減されます。自動化された洗浄プロセスはまた、洗浄サイクルを実行するために必要な全体的なオペレータ時間を大幅に削減し、貴重なリソースを節約します。さらに、化学濃度とスクラブリング動作を最適化することにより、クリーナーウエハ、長寿命、および工具寿命が延長されます。その結果、信頼性、柔軟性、優れた結果により、3300は多くのユーザーに好まれ、好まれています。