中古 SSEC 3300 #161552 を販売中

SSEC 3300は、薄くて壊れやすい表面を洗浄して除去するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。最大150枚のウエハや30枚のマスクを一度に扱える大容量・高速スクラバーです。フェルトやクローズドループウォーターシステムなどの柔らかい非研磨材料で作られた研磨ディスクを使用して、制御された一貫した洗浄アクションを提供します。研磨ディスクは垂直軸上で回転し、5速に調整可能で、汚染物質を除去しながら表面の損傷を防ぐために十分に穏やかなカスタマイズされた洗浄動作を可能にします。3300の設計には、ウェーハまたはマスクにクランプされ、水ベースの洗浄液でスプレーされる円形のスクラバーヘッドが含まれています。このスクラビングアクションは、圧力の放出を可能にする調整可能なシャワーノズルによってさらに補完され、制御された一貫性のあるクリーニングが可能になります。スクラバーは、効率的な処理のための高速液冷モータを備えており、最大36,000RPMのスクラバー回転速度を備えています。SSEC 3300には最大3つのタイミングコントロールサイクルを備えたタイマーがあり、正確で繰り返し可能な洗浄が可能です。独立した水弁はスクラブの流れを容易に制御することを可能にし、目的の洗浄結果を達成するために洗浄液の異なる濃度を可能にします。圧力計を使用して流量を監視し、スクラブ力と圧力を制御することができます。3300は安全のために設計されており、滑り止めベース、スクラバーがウェーハやマスクなしで作動するときの自動シャットオフのための安全スイッチ、適切な乾燥を確保し、水スポットを避けるための内蔵ドライヤーなどの機能を備えています。さらに、スクラバーには排気システムがあり、適切な換気とアルコール検出を行い、水系のエタノール汚染をチェックします。全体として、SSEC 3300は高性能で信頼性の高いウェーハおよびマスクスクラバーであり、デリケートな表面から不要な汚染物質を効率的、安全かつ穏やかに除去できます。調節可能な速度、圧力および液体冷却されたモーターの組合せはそれをあらゆるウエファーかマスクのクリーニングのプロシージャのための理想的な選択にします。