中古 SSEC 200 #142268 を販売中

SSEC 200は、バックサイド照明（BSI）ウェーハおよびマスキングアプリケーションの歩留まりをきれいにし、改善するように設計された高度なスクラブ装置です。クリーニングパラメータやシリコンやクオーツベースのウェハなどの高圧ジェットを精密に制御する必要がある高感度ウェハ材料での使用に最適化されています。200は、高圧スクラバーとデュアルウェーハサポート構成を含むユニークで強力なスクラブ戦略を利用しています。そのスクラビングヘッドは、洗浄エネルギーと液体配達の正確な決定と制御を提供するように特別に設計されています。スクラビングヘッドは正確に整列および調整でき、最適なクリーニングカバレッジと均一な高圧N2クリーニングを提供します。SSEC 200は完全に自動化されたスクラビングシステムを備えており、オペレータの介入はありません。すべてのスクラビングパラメータを監視する高度なコントロールユニットを使用して、プロセスを微調整できます。これは、ウェーハが通常平坦ではないマスキングアプリケーションにとって特に重要な側面です。200はまた速いスクラブ周期のために高いスループットの適用を扱うことができます。SSEC 200は、プラズマエッチングによって生成される1 μ mレベルまでの粒子を除去するための深い洗浄戦略で設計されています。洗浄結果は従来のスクラビングシステムに比べて大幅に改善され、各マスクまたはウェーハを洗浄する時間が大幅に短縮されます。200はまた耐久性の高いステンレス鋼のスクラビングタンクと造られます。その自己含水浄水機は、汚染粒子がスクラビングタンク内に効果的に閉じ込められていることを保証し、環境内でのさらなる広がりを防ぎます。この革新的なスクラビングツールは、予防的に密封され、環境保護の余分な層を追加します。全体として、SSEC 200は、ほとんどの種類の敏感なウェーハやマスキングアプリケーションをスクラブするのに理想的な選択肢です。その高度に専門化された機能は、クリーニングパラメータとエネルギーを正確に制御し、歩留まりを改善し、スクラビングサイクル時間を大幅に短縮します。耐久性の高い構造と自己完結型の浄水資産により、環境にも優しい選択肢となっています。