中古 SEMINET AUTOMATION SafeGuard RIS32-0065 #9127883 を販売中

SEMINET AUTOMATION SafeGuard RIS32-0065
ID: 9127883
ウェーハサイズ: 12"
Mask conveyor, 12".
SEMINET AUTOMATION SafeGuard RIS32-0065は、幅広い半導体製造プロセス向けに特別に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。この革新的なツールは、フォトマスクやウェーハのスクラブを最適化します。フォトレジスト、粒子、および金属化またはエッチングの前に異物を除去することができます。RIS32-0065はステンレス鋼および鋳造アルミニウムと組み立てられる強力で、丈夫な箱を特色にし、信頼でき、正確に技術的に高度なPLCsおよびHMIsと作動します。最大直径6インチ、最大3インチのピックアンドプレースウェーハのフォトマスクを取り扱うように設計されています。RIS32-0065は、安全性、性能、信頼性に関する最も要求の厳しい基準を満たす効率的で使いやすいスクラバーです。これには、クリーニング圧力レギュレータ、パルス曲線発生器、持続的なクリーニングと乾燥、およびすべての組み込まれた制御およびクリーニングパラメータが含まれています。強力な真空ポンプは、最大28.3mHgの圧力を提供し、迅速かつ効率的なウェーハとマスククリーニングを可能にします。スクラバーは、シングル、ランダム、リニアモードのオプションで、自動自己診断と複数のクリーニングモードも可能です。それは可変的な設定および頻度が付いている多数の超音波ジェット機が装備されていて、クリーニングの強度の調節を可能にし、1日24時間を動かすことができます。安全面では、RIS32-0065は安全ドアとパネルで設計されており、クリーニングプロセス中に発生する粒子からユーザーとオペレータを保護します。プロセッサボードとPLCスクリーンもキャビネット内に取り付けられており、簡単にアクセスでき、メンテナンスや修理を容易に行うことができます。また、安全メカニズムも組み込まれており、スムーズかつ適切な運転を実現しています。スクラバーはさらに、サイクルタイムや残留値など、複数のパラメータを測定するEDB1データロギング機能を備えています。また、多くの標準的な工業用通信プロトコルと互換性があり、ローカルネットワークまたは外部ITインフラストラクチャに接続することができるため、他の多くのデバイスやシステムと通信することもできます。SafeGuard RIS32-0065は、フォトマスクやウェーハの効果的かつ効率的なスクラブを必要とする半導体製造プロセスに最適なソリューションです。人間工学に基づいた設計と堅牢な構造により、長時間使用しても安全かつ静かに動作できます。自動クリーニング機能、可変設定、統合された安全機能により、RIS32-0065があらゆる半導体製造プロセスに最適な選択肢である理由を簡単に確認できます。
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