中古 SDI MicroKlean ILD3 #9357166 を販売中
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SDI MicroKlean ILD3は、革新的なIntegrated Laser Detection (ILD)機能により、ウェーハの清浄度と粒子制御要件を改善および維持するように設計された高性能ウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、手動操作とロボット操作の両方のために設計されたハンドヘルド、空気操作ブラシツールを使用して、洗浄と粒子検出の技術の組み合わせを利用しています。MicroKlean ILD3には、ブラシヘッド、レーザー/画像/データ収集装置、および取水システムの3つの重要なコンポーネントが含まれています。ブラシヘッドは、効果的なスクラブ力を提供し、繊細な表面を傷つけるリスクを低減するように設計された特別な剛毛で設計されています。レーザー/画像/データ収集ユニットは、スクラブされている表面に向かってレーザービームのパターンを放出することによって動作し、同時に詳細な画像とデータをキャプチャします。このデータは、粒子レベルと多かれ少なかれ注意を払う必要がある領域を決定するために使用されます。吸水機は、遠隔貯水池からスクラバーに水を引き込み、ブラシヘッドに指示して、剛毛が微妙な表面を傷つけないようにします。SDI MicroKlean ILD3にはユーザーフレンドリーなインターフェースがあり、オペレータはスクラバーの高さ、加圧、スクラビング速度を調整できます。これにより、クリーニングウエハが容易になり、スクラブ精度が向上します。MicroKleanには自動エラー検出機能もあり、スクラビングプロセスのエラーを迅速かつ簡単に修正することができます。MicroKlean ILD3は、半導体および高度な包装業界の厳しい要件を満たすように設計されています。粒子検出と清浄度制御のためのこれらの正確な要件を満たしているため、スクラバーは製造されたウェーハとマスクの品質管理を確実にする信頼できる投資です。このスクラバーのユニークなILD機能は、手作業の必要性を減らし、スクラビングプロセスの効率をさらに高めるという点でも有益です。これにより、より高品質の部品を生産し、最終的に製造業者の生産プロセスをスピードアップすることができます。
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