中古 SCREEN SS-3000-AR #9377023 を販売中

SCREEN SS-3000-ARは、敏感な半導体ウェーハやマスクを効率的かつ安全に洗浄するために設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このシステムは、ステンレス製のチャンバー、3つの洗浄および洗浄ステーション、および18インチの高効率スクラブ機構を備えています。チャンバー全体を傾けて回転させることができ、スクラビングプロセス中に完全なカバレッジを確保することができます。拡散ポンプは、システムの効率を向上させ、ポストプロセス乾燥を容易にするために組み込まれています。SS-3000-ARのスクラブ機構は、微細なレベルに粒子や他の汚染物質を減らすのに役立つ、穏やかで進歩的なスクラブ作用を提供するように設計されています。3つの別のソリューションタンクを使用して、DI水、IPA、 SC-1（界面活性剤ベースの洗剤）、またはユーザーが望むその他のソリューションで洗浄できます。オンマシンコントロールを使用して、スクラブ速度、チャンバ回転速度、チャンバー傾斜角度、およびその他のパラメータを設定して、クリーニングプロセスをユーザーの好みに合わせてカスタマイズできます。このユニットには、最適な結果と再現性を保証する自動プロセス監視および制御システムが装備されています。安全インターロックは、停電中の偶発的な起動または動作から保護するために含まれています。さらに、内蔵の排気ファンは、有毒な煙を除去し、空中汚染物質の存在を減らすことができます。全体的に、SCREEN SS-3000-ARはコンパクトで使いやすいウェーハとマスクスクラバーであり、効率的で耐久性の高い設計で生産性を向上させます。優れた洗浄性能と高い再現性を必要とする半導体製造工程での使用に最適です。