中古 SCHMID 352 #9124716 を販売中

ID: 9124716
ヴィンテージ: 2009
Phosphor doper Wafer thickness: 200 μm to 320 μm Capacity: 3600 Cells / h at wafer 125 x 125 mm (1.5 M/min feed) Ambient temperature: 20 - 24°C ± 2°C Humidity: 48% to 54 % ± 2 % Phosphoric acid Concentration approx: 27% Mixing ratio: 1:3 With 85% acid Consumption approx: 0.4 l/h Temperature: 34°C ± 1°C (Internal regulation) Content vaporizer approx: 3 l Content supply tank: 50 l Water inlet belt cleaner: DI water Conductance: 1 μS Temperature: 20°C ± 3°C Consumption: 380 l/h at 2 bar inlet pressure Inlet pressure: < 4 Bar Working pressure: 3 Bar Cooling water: Infeed temperature max: 17°C Consumption: >300 l/h Inlet pressure max: 5 Bar Pneumatic: Inlet pressure: 6 to 10 bar Working pressure: 6 Bar Pollution: Drying Oil free Maximum: 5 μm / 5 mg/m3 Suction Working pressure: 0.5 Bar Connection dimension: 90 mm Exhaust air approx: 100 m3/h Power supply: 3-Stages /N/PE, 400 VAC, 50 Hz, 24 VDC, 8 A / Stage, 5.5 kW 2009 vintage.
SCHMID 352ウェーハ&マスクスクラバーは、高性能な半導体加工部門のニーズを満たすように設計された汎用性の高い高効率ツールです。このウェーハ&マスクスクラバーは、最新のスクラブ技術を使用して、迅速で正確で信頼性の高い結果を提供します。ウエハ径152mmまで、マスク径350mmまでのスクラブ加工が可能です。352は動きのフルレンジを提供し、複雑な構造のスクラブを可能にします。回転運動、垂直調整、調節可能なスクラブ速度は、すべてスクラブ性能を最適化するために利用することができます。この柔軟性は、フォトレジストの厚い層を掃除したり、微細な構造を損なうことなく粒子を除去するなど、さまざまなスクラブ作業に役立ちます。このウェーハ&マスクスクラバーには2つの強力なSCRモーターが装備されており、調整可能な圧力とスクラブ制御を備えています。これにより、スクラビングプロセス全体が迅速かつ効果的であることが保証されます。その丈夫な構造および癒やす効果は清潔さおよび精密の最高レベルを維持するのを助けます。SCHMID 352には、特殊な避難アームと特許取得済みの両面ブラシが装備されており、さらに厄介な構造の集中的なスクラブを可能にします。これは、ブラシの手動洗浄を必要とせずに行われるため、プロセスの速度と安全性が向上します。このウェーハ&マスクスクラバーは14-44°Cからの広い温度較差で、作動できます。さらに、352は毎時1000リットルの浄水システムを備えており、スクラブ液を常に清潔で純粋に保ち、化学的使用量と設置面積を削減します。このシステムは、スクラブ溶液をリサイクルし、汚染を低減するクローズドループ濾過システムに接続されています。結論として、SCHMID 352ウェーハ&マスクスクラバーは、比類のないスクラブ性能を提供する高効率で信頼性の高いツールです。シンプルな設計と高度なスクラビング技術により、迅速で柔軟かつ安全なスクラビングプロセスを提供し、プロセスコストと汚染を低減します。
まだレビューはありません