中古 SAWA SC A22 #9157623 を販売中

SAWA SC A22は、摩耗を最小限に抑え、ウェーハやマスクなどの平面面から粒子や粘着残留物を迅速に除去するように設計された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーは、フォトマスク、ベアシリコンウェーハ、研磨ウェーハの洗浄に使用できます。また、めっき、ウェットクリーニング、ボンディングなどの後工程処理のための基板を準備するためにも使用されます。SC A22には、洗浄効率を向上させ、粒子生成を低減し、表面処理を強化するためのさまざまなブラッシングおよび真空技術が搭載されています。SAWA SC A22は、ソフト、ミディアム、高周波で振動するハード剛毛を備えたブラシパッドを含む強力なデュアルブラシ装置を使用して、ウェーハやフォトマスク表面から離れた粒子を攪拌してサスペンドします。このデュアルブラシシステムは、高効率の真空ユニットと統合されており、粒子の再蒸着を防ぎながら、効果的な粒子除去を保証します。エアーナイフも統合されており、破片のすすぎや吹き飛ばしを容易にします。スクラバーは、サイクルごとに4つのウェーハと4つのマスクを収容することができます。基板治具は、基板治具とスクラビングヘッドの間でスクラビングアームを移動させるトランスレーティングドライブマシンにロックします。スクラビングヘッドは、ブラッシングおよび真空機能を正確に制御できるように調整することができます。これにより、特定のアプリケーションに応じて幅広いプロセスパラメータを最適化できます。内蔵の圧力センサは、スクラブ圧力が事前にプログラムされた設定内にあることを保証します。SC A22にはユーザーフレンドリーな制御ツールが搭載されており、監視、プログラミング、診断、およびOEE（全体的な機器効率）機能が含まれています。この制御アセットは、長距離操作のためのリモートアクセスを内蔵した12。1 インチLCDタッチスクリーンを備えています。マシンは起動時に自動的に実行するようにプログラムすることもでき、保存されたクリーニングレシピを追加して繰り返し実行するために編集することもできます。内蔵のOperator Model Alarmは、不規則な条件をオペレータに通知します。SAWA SC A22は、幅広い半導体アプリケーションに最適なスクラバーです。この機械は信頼でき、反復可能、作動し、維持すること容易です。その結果、このスクラバーは、高レベルのプロセス制御とライン安定化を必要とする生産ラインでの使用に適しています。