中古 RUDOLPH FE VII/IV #9398260 を販売中

RUDOLPH FE VII/IVは、半導体製造で使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。このデバイスは、スクラブ、監視、衛生機能を制御する4つの独立したモーターによって駆動されます。スクラビングプロセスは、製造プロセス中の基板上の汚染量を減らすために設計されています。特許出願中の回転アーム技術を使用して、基板の表面全体を回るスクラビングヘッドを回転させます。監視機能により、オペレータはスクラビングアームの状態を観察し、簡単に調整を行うことができますが、衛生機能は基板の最高の清潔さを確保するのに役立ちます。FE VII/IVは、直径18インチ、厚さ1。36インチまでのウェーハをスクラブすることができます。スクラビングプロセスは、硬化炭化物と柔らかい剛毛ブラシを使用して基板の表面から粒子をきれいにする最先端のものです。これらの回転ブラシは、手動スクラブでは目に見えない可能性のあるエリアに到達するのが困難に浸透するように機能します。スクラビングプロセスはまたプログラムされ、特定のプロセス条件に適するためにカスタマイズされるかもしれません。FE VII/IVには、基板からスクラブされた粒子を収集するための1000ワットの真空システムも装備されています。この真空システムは、空気中の粒子が周囲の環境に到達するのを防ぎ、基板表面の効率と清潔さを向上させる働きをします。FE VII/IVの追加機能には、コンパクトなボディとエネルギー効率が含まれます。コンパクトなボディは設置が容易で、施設内のスペースを最小限に抑えます。このデバイスは12V DCのみで動作し、他のスクラビングソリューションのエネルギー使用量を削減します。RUDOLPH FE VII/IVウェーハとマスクスクラバーは、半導体製造プロセスで基板を清潔に保つための効果的なソリューションです。回転スクラビングアーム、監視および衛生機能、およびエネルギー効率により、あらゆる製造施設に最適なソリューションです。