中古 ROTHSE RR 6141 #9294531 を販売中

ROTHSE RR 6141は、半導体製造プロセスおよびウェハーマスクのスクラビングアプリケーションで使用するために設計された自動装置ソリューションです。RR 6141は、振動運動を利用し、片面洗浄、両面洗浄、多層洗浄の3つの独立した洗浄モードを備えた水平マウント、自己完結型、完全自動化されたウェハーマスクスクラバーです。ROTHSE RR 6141は、さまざまなスクラブ操作を実行するように設計されています。まず、RR 6141は片面スクラブ操作を行うことができます。つまり、片面のウェーハとマスクを片面で片面クリーニングするために使用できます。また、ROTHSE RR 6141は、複数層のスクラブ操作が可能で、複数層のウエハーマスクにわたってさまざまなクリーニングを行うことができます。RR 6141は毎分2000回転の最高速度で動作するように設計されており、徹底的で一貫した洗浄性能を提供します。ROTHSE RR 6141は、効率的な操作と使用をサポートするさまざまな機能を備えています。アプライアンスは直感的なデジタル制御装置とユーザーフレンドリーなインターフェースを内蔵しているため、所望のクリーニングタスクに正確に設定できます。RR 6141はプロセスパラメータの広い範囲を提供し、ユーザーは振動運動の方向、振動の頻度、クリーニングサイクルの持続期間、およびドウェル時間のような彼らの望ましい変数を選ぶことを可能にします。ROTHSE RR 6141はまた適切な操作を維持し、潜在的な維持の問題にユーザーに警告するためにセンサーおよびモニターを収容します。RR 6141は、常にクリーニングソリューションをサンプリングし、酸素とオゾンのレベルを監視するガス管理システムを利用しています。アプライアンスには、ウェーハとマスクの表面をスキャンして清潔にする自動検査ユニットも装備されています。ROTHSE RR 6141は既存の生産ラインに統合されるか、またはスタンドアロン単位として使用することができます。このアプライアンスにはモジュラー設計が装備されており、生産ニーズの変化に合わせて簡単に再配置および構成することができます。さらに、RR 6141もクラス100定格であり、合成ニトリル手袋とHEPAフィルターを使用して、ユーザーにクリーンルーム要件に準拠したものを提供します。結論として、ROTHSE RR 6141は、ウェーハマスクのスクラビング用途向けの包括的かつ高効率なソリューションです。アプライアンスは、さまざまなスクラビングモード、直感的なデジタル制御、および幅広いプロセスパラメータ構成を提供します。また、自動化されたセンサーと検査機を備えており、効率的な動作を維持し、クリーンルーム要件を維持しています。