中古 ROHDE & SCHWARZ PSL3 #9186395 を販売中

ROHDE&SCHWARZ PSL3は、直径300mmまでの金属および非金属基板の精密スクラブを提供する高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは、ナノテクノロジーのブラシと統合されたクリーニングヘッドを使用して、優れたクリーニング性能を提供します。ユニットは、効率的かつ正確なスクラブを可能にする高度な制御システムで設計されています。このユニットは、高度なクリーニングヘッドとブラシを使用して、ストロークごとに均一なスクラブ圧力と動きをもたらします。各ナノテクノロジーのブラシヘッドは、基板ごとに必要な正確な表面積をスクラブするようにプログラムされています。これにより、表面への損傷を最小限に抑えながら、精密な洗浄が可能です。ブラシは2000RPMまでの速度を作り出すことができるモーターによって運転されます。さらに、クリーニングヘッドは、最大+/-30度の急な角度調整と、再現可能なクリーニングプロセスを提供する角度スイッチング機能を備えています。非金属基板は、外部ソースから供給されるか、ユニット内で再循環された酢酸アミルで洗浄されます。さらに、このユニットは超音波洗浄機能を備えており、空気または窒素で基板を乾燥することができます。このユニットは、直感的なHuman Machine Interface （HMI）を使用して、スクラビングモードと乾燥モード、およびデータロギングを制御します。さらに、他の場所にあるスクラバーを監視するために、TCP/IPネットワークを介したリモートアクセスモニタリング（RAMP）をサポートしています。PSL3は堅牢で信頼性の高い性能のために設計されており、クリーンルームや腐食アプリケーションで使用するために構築されています。シートメタルハウジングは、ほこりやオイルに対する保護を提供し、0。1 μ mの粒子を捕捉できる統合フィルターシステムを備えています。ROHDE&SCHWARZ PSL3は、正確で再現性のあるスクラブとクリーニングを必要とするクリーンルーム環境において、ハイエンドな結果を提供します。精密な制御システム、洗練されたブラシヘッド、再現性のあるスクラビングプロセスにより、金属表面と非金属面の両方を洗浄する際に優れた結果が得られます。