中古 RIGAKU GXR-300 #9128016 を販売中

ID: 9128016
ウェーハサイズ: 12"
Metrology system, 12".
RIGAKU GXR-300は、ウェーハ、マスク、レチクル、フォトマスクなどの感度の高い半導体材料を精密かつ徹底的に洗浄するために設計された完全自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。人間工学に基づいて設計されたこのスクラバーは、クリーンルームや実験室での使用に最適な強力な機能を誇っています。GXR-300は、すべてのウェーハおよびマスク表面を効率的に洗浄するための固定両面ブラシヘッドを備えています。ブラシのユニークなデザインは、標準のブラシシステムと比較してより徹底的な洗浄を可能にし、単一のパスでより良い結果を残します。さらに、毎分4,000回転(RPM)までの調整可能な速度は、効果的なスクラビングプロセスを保証します。また、より静かな操作のために、ブラシの動作速度を≤ 2,000 RPMに調整し、最大45 dBの音量を下げることができます。RIGAKU GXR-300は、直径12インチまでのウェーハをスクラブすることができます。ブラシヘッドの最適な距離とウェーハ表面への接触圧力を維持するために、精密加工されたアームを使用しています。拡張可能な設計により、さまざまなウェハサイズでの使用が可能になり、このスクラバーは、追加または追加のハードウェアを必要とせずに、ほとんどの半導体製造プロセスに適しています。GXR-300には人間工学に基づいたハンドルと手作業で操作可能なホールディングクランプが装備されており、スクラビングプロセス中にウェーハとマスクを確実に所定の位置に保持します。タッチパネル付きの直感的なコントローラーユニットにより、ユーザーコントロールとカスタマイズのオプションを強化できます。さらに、スクラバーは、単一のクリーニングサイクルを実行するか、複数のサイクルを繰り返すように設定できます。RIGAKU GXR-300は、コンパクトで省スペースなフットプリントを提供しており、狭い場所やクリーンルーム、実験室などでの使用に最適です。統合されたクリーニングソリューションストレージにより、必要に応じてクリーニングソリューションに簡単にアクセスできます。このハイレベルなウェーハとレチクルスクラバーは、堅牢なスチールフレームと金属パネルで構築された耐久性のあるハウジングによって保護されています。CE認定設計により安全性がさらに強化され、動作中のユーザーの安全を確保します。最後に、堅牢な構造により、最大の振動、腐食、および防塵を可能にし、厳しい生産環境で使用することができます。
まだレビューはありません