中古 POLARUS A-209T #293625794 を販売中

ID: 293625794
TCT Scrubber P/N: A209T-090085.
POLARUS A-209Tは、効率的で自動化されたウェーハおよびフォトマスク洗浄用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。このスクラバーには、高度な真空システムと使いやすい指制のコマンドパネルが装備されており、ユーザーはスクラバーの設定を素早く簡単にプログラムして調整することができます。A-209Tは、裏面、FR4、セラミック、ランダムアクセスメモリ(RAM)基板など、さまざまなマスクやウェハに対応できます。スクラバーは、ウェーハまたはフォトマスクを搭載するヘッドユニットとクリーニングシステムで設計されています。ウェーハとマスクの洗浄は、セルフクリーニングと脱脂を含む2段階のスクラビングプロセスによって行われます。セルフクリーニングプロセスはエアジェットを使用してほこりの粒子を吹き飛ばし、除去しますが、脱脂プロセスは高圧ウォータージェットと強力な化学ソリューションを使用してウェーハとフォトマスクの表面をきれいにします。スクラバーのクリーニングシステムには、アプリケーションの特定のニーズに合わせて調整できる2つの独立した駆動スクラビングヘッドが装備されています。これにより、ユーザーは洗浄パラメータを正確に制御し、優れた結果を得ることができます。スクラバーはまた3から99分に置くか、または調節することができる調節可能なクリーニングサイクルと設計されています。クリーニングサイクルが完了すると、マシンはウェーハまたはフォトマスクを洗浄し、プロセスが終了すると自動的にオフになります。スクラバーは、その寸法の精度を確保するために、ウェーハとフォトマスク表面を均等かつ迅速に乾燥させるように設計されています。POLARUS A-209Tには、汚染物質のレベルを監視し、スクラブ中に放出された粒子が与えられた限界を超えないようにする効率的なガスセンサーが装備されています。スクラバーは、電気ショック、電気過負荷、および危険な化学物質の漏出から保護するために、複数の安全機能を備えて設計されています。このスクラバーは、半導体製造、研究開発、ウェハおよびフォトマスク洗浄アプリケーションの幅広い分野で使用できる強力で信頼性の高いツールです。A-209Tは長続きがするおよび信頼できる性能のために設計されています。
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