中古 PLASMA ECS-2000P #9249383 を販売中

PLASMA ECS-2000Pウェーハとマスクスクラバーは、幅広い先進技術を駆使し、優れた結果を生み出します。特許取得済みの5ゾーン回転ブラシは、ウェーハやマスク面の粒子を除去するだけでなく、表面を優しくスクラブして均一な仕上げに磨きます。パルス処理されたPLASMA洗浄装置は、ウェーハ表面から素早く粒子を除去し、前のプロセスからの汚染の蓄積を防ぎます。さらに、スクラバーには超音波洗浄技術を使用して、ウェーハとマスクの表面をさらにスクラブして磨きます。光学ビームセンサは、ウェーハやマスク表面の粒子や残骸を検出するためにECS-2000Pに統合されています。このセンサは、3波長レーザー光学系を使用して、粒子のサイズを10nm程度正確に特定して測定することで、素早く取り外すことができます。センサーはスクラバーと完全に統合され、高品質で粒子のない結果を保証します。PLASMA ECS-2000Pは信頼性と耐久性のために設計されています。その堅牢な構造は、最も過酷な製造環境に耐えるように設計されており、クリーンなプロセスチャンバーは、環境に関係なく最適な結果を保証します。このスクラバーは、高度な安全機能を多数使用して、人員と製品の両方に最適な安全性を提供します。フェイルセーフオペレーティングユニット、漏れ検知・予防対策、別途密閉された化学封じ込めチャネルを備え、安全な廃棄を実現しています。また、環境に関係なく一貫した洗浄結果を保証する高度な湿度制御ツールを備えています。ECS-2000Pには、1〜99°Cの広い動作温度範囲があり、他のシステムとの接続と統合のためのさまざまな通信機能が含まれています。ユーザーインターフェイスは直感的で、スクラビングプロセスを合理化するタッチスクリーン機能が含まれています。スクラバーには、リモートアクセスと監視のためのイーサネットポートも装備されています。PLASMA ECS-2000Pは、ウェーハおよびマスクスクラビングの業界標準を確実に満たしています。高度な技術、高度な安全機能、信頼性の高い構造の組み合わせにより、精密洗浄作業に最適です。