中古 ONTRAK DSS 200 #9249010 を販売中

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ID: 9249010
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
CMP System, 8" Single line 1994 vintage.
ONTRAK DSS 200ウェーハおよびマスクスクラバーは、フルおよびスプリットウェーハとマスクフレームの両方を1つの操作で処理できる高度な自動スクラブ装置です。ONTRAK DSS-200は、マニュアルクリーニングを最小限に抑えた高品質な結果を提供するように設計されており、独自の最先端のスクラビングアクションを備えており、多くの種類のフォトマスクやウェーハに優れたクリーニング性能を提供します。DSS 200スクラバーは耐食性のステンレス鋼から長期信頼性を保障するために組み立てられ、3つのモジュールから成っています:スクラブ、乾燥および貯蔵/パッキング。スクラビングプロセスの間に、ウェーハおよび/またはマスクフレームはサービスプラットフォームに取り付けられ、革新的な回転ブラシストロークスクラビングシステムと調整可能な洗浄強度を利用して、完全に自動化されたクリーニングプロセスを介して実行されます。ブラシは、優れた洗浄性能のための最新のデザインを備えており、個々のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。スクラビングプロセスの後、各ユニットの側面に配置された通気口は、保管前にウェーハおよび/またはマスクを迅速に乾燥させ、梱包する準備ができます。これは、ホットコイルの上に空気を渡してから、熱強制対流オーブンでウェーハやマスクの周りを通過することによって達成されます。組み込みのプログラム可能な温度制御機能により、最小限のユーザー介入で最高の洗浄結果が達成されます。統合されたストレージ/パッキングモジュールにより、ウェーハやマスクを手作業による梱包や取り扱いを必要とせずに輸送に使用できるようになります。エアジェットは、保管中に商品が妨害されないようにします。これにより、DSS-200は1つの操作でフルおよびスプリットフレームの完全かつ効率的なクリーニングサイクルを提供することができます。ONTRAK DSS 200は、優れた洗浄性能、付属ブラシ、およびプログラム可能な温度制御により、大規模な生産作業に最適です。最大の効率を確保するために、制御ユニットは、リモートで監視し、メインコントロールパネルからリセットすることができ、いくつかのプリセットクリーニングプログラムのいずれかを切り替える柔軟性を可能にします。ONTRAK DSS-200は、緊急停止ボタンや過熱モニターなどの最先端の安全機能も備えています。全体的に、DSS 200ウェーハとマスクスクラバーは、すべての生産アプリケーションのニーズを満たす高度で効率的な洗浄機です。使いやすさ、優れた洗浄性能、柔軟なプログラム可能な温度制御、および統合されたストレージ/パッキングモジュールを組み合わせたこのスクラバーは、大規模または小規模操作に最適です。
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