中古 ONTRAK DSS 200 Series II #293804838 を販売中

ONTRAK DSS 200 Series IIは、先進的な半導体デバイスに最適なプロセスサポートを提供するために特別に設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。高性能な半導体生産のための最新の業界標準のすべての要件を満たすように設計されています。デリケートなウェーハやマスクの最適な洗浄とスクラブのための多くの自動化された機能を提供しています。機械はウェーハおよびマスクの有効なスクラブのための高度の電子モーター制御システムによって制御される回転ブラシスクラビングモジュールが装備されています。それは最高の清潔さおよび最低の粒子の汚染の一貫したスクラブの性能を提供するように設計されています。スクラビングモジュールは、繊細なウェーハやマスク基板の特定の要件を満たすために、さまざまなストローク、回転速度、スクラブ時間に設定できます。ONTRAK DSS-200 SERIES IIには、ウェーハエッジ洗浄用の掃除機が内蔵されているほか、水系洗浄液で使用するケミカルリンスステーション、ほこりや破片をすばやく除去するために設計されたスクラビングブラシなど、多くの洗浄オプションがあります。スクラビングブラシは、ウェーハやマスクのサイズに合わせて調整でき、幅広いブラッシング速度とストロークを提供します。ブラシは、ウェーハまたはマスクの1つの部分に集中するか、または表面全体をカバーするように設定することができます。DSS 200 シリーズIIはまた、マシンの状態と作業中のウエハやマスクの状態を監視するために使用できるさまざまなセンサーや検出器を提供しています。スクラビングチャンバー内の大気の温度を測定する温度センサー、汚染粒子の存在を測定するパーティクルカウンター、大気中の塵のレベルを示す光ファイバーセンサーなどがあります。機械は自動および手動操作のためにセットアップすることができます。これは、独立して使用することも、スクラビングプロセスを監視および制御するために使用することができるコンピュータにリンクすることもできることを意味します。これにより、一貫した制御されたスクラビングプロセスと結果の精度が保証されます。最後に、DSS-200 SERIES IIには、さまざまなアフターケアオプションも付属しています。これには、乾燥キャビネットとパーティクルフィルターを使用してスクラブ環境のすべての部分の最大の清潔さを確保すること、および機械を最大の効率のために最適なレベルで動作させるために定期的なメンテナンスと校正を使用することが含まれます。