中古 ONTRAK DSS 200 series 2 #9118869 を販売中

ONTRAK DSS 200シリーズ2は、効果的で効率的なウェーハとマスクスクラブを提供することにより、大規模な製造環境で重要なコンポーネントです。シリーズ2のオプションは、優れた洗浄結果と高性能を提供します。このユニットには、ステンレス製のベースキャビネットと、直感的なプログラミングを可能にするコントローラー付きの統合フロントパネルが含まれています。スクラビングチャンバーのサイズは、最大直径200mmの2つのウェーハと最大300mmの4つのマスクを収容できます。マルチチャンバースラブスクラバーは、3つの個別の事前プログラム済みクリーニングプロセスを提供し、特定の要件に合わせた独自のソリューションを提供します。スクラバーはブラシレスモーターによって動力を与えられ、水中ヒーターが付いている液体循環ポンプを含んでいます。このポンプは均一なカバレッジと一貫した脱イオン（DI）水を供給します。自動ロードバランシング機能により、効率的な操作と均一な洗浄が保証されます。調節可能なノズルは有効なクリーニングに調節可能な圧力を提供します。高性能DIウォータージェット洗浄システムと、ウェーハやマスクに微粒子や汚れを貫通する洗剤技術を組み合わせて作動します。スクラバーには、統合された濾過システムを含むタワータンクが装備されています。最大95°Cのすすぎ温度は、スクラバーの垂直タワーセグメントの上部にある断熱ダブルジャケットによって提供されます。さらに、スクラバーには、調整可能な洗浄時間設定、残留洗浄機能、オートストップシステム、出力水測定センサ、短絡ブレーカなどの内蔵安全対策も含まれています。DSS 200シリーズ2ウェーハおよびマスクスクラバーは、あらゆる製造環境に不可欠であり、信頼性が高く効果的な洗浄ソリューションを提供します。高度な制御システム、自動化されたプロセス、断熱タンクにより、スクラバーは一貫した高品質の洗浄結果を保証します。ユニットの耐久性と信頼性の高い構造は、最も過酷な製造条件での長期運用に理想的です。