中古 ONTRAK DSS 200 series 1 #9195527 を販売中
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ONTRAK DSS 200シリーズ1は、特許技術で設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。それは反復的で、大量のスクラビングの適用のために設計されている強力で、費用効果が大きい生産設備です。この高度なマシンは、単一のマシンサイクルで最大12個のウエハーまたは基板を高速で一貫したスクラブ処理を実行します。これは、極端なウェーハ要件に適しており、品質を損なうことなく効率的な操作を提供する高度な洗浄機能を備えています。DSS 200シリーズ1は、ウェーハとマスクの両方をスクラブし、高精度な洗浄を実現します。スクラバーは6本の独立したアームで構成されており、それぞれに2本のスピンドルが取り付けられているため、最適な柔軟性が得られます。このマシンは、スクラブ速度とプロセスを正確に制御するために可変周波数ドライブを使用しており、プロセスのタイミングと反復性を正確に制御できます。クリーンチャンバーは6つのアームすべてを収容し、最高レベルの清潔さを維持し、外部汚染を避けるように設計されています。極端なウェーハ要件に対応して設計されたこのマシンは、大きなスクラビングエリアを備えており、すべてのウェーハとマスクの表面がきれいに保たれます。スクラバーには、洗浄サイクルの最大の再現性を保証する堅牢な水と化学ラインも装備されています。制御された押出と放出による自動化学処理を提供し、ウェーハやマスクの効率的な積み降ろしを可能にする自動プログラム可能なフィーダーシステムを備えています。ONTRAK DSS 200シリーズ1は、複数の制御モードをサポートし、リモートアクセスと監視を可能にする包括的なコントローラユニットを備えています。このマシンは強力なソフトウェアを使用しており、運用データの可視性と包括的なセットアップと制御オプションを提供します。また、すべてのレベルのオペレータ向けに設計された直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、すべてのマシン機能に簡単にアクセスできます。この最先端のウェーハとマスクスクラバーは、優れた信頼性を提供し、一貫して欠陥のない結果をもたらします。DSS 200シリーズ1は、最先端技術の特長と耐久性に優れた信頼性の高い設計を組み合わせることで、幅広いウェーハおよびマスク用途向けに精度と性能に優れたスクラビングを提供します。
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