中古 NUBAL SPL 347 #9198183 を販売中
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NUBAL SPL 347ウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体基板の精密洗浄用に設計された専用の自動装置です。それは集積回路、トランジスタ、ダイオードおよび他の電子部品のような半導体デバイスの製作で使用されます。このシステムは、比類のないレベルの洗浄、精度、一貫性を提供する独自の洗浄技術を使用しています。ウェーハやマスクを効率的、効果的、正確に洗浄するための包括的な機能を提供します。SPL 347は、ウェーハとマスクスクラバー、プロセス制御コンソール、エアジェットスクラバー、自動乾燥システムで構成されています。ウェーハとマスクスクラバーは、最大8インチの異なるサイズのウェーハを同時に処理するように設計されており、大規模な生産に最適です。また、高精度のマイクロノズル設計により、ウェーハ表面とマスク表面の効率的かつ効果的な洗浄を保証します。自動化されたエアジェットスクラバーは、ウェーハとマスクの両方の表面を高精度で低圧ジェットで洗浄するように設計されています。エアジェットの角度速度と方向を制御し、表面を均一に洗浄する特殊なノズルホイールを装備しています。エアジェットスクラバーは、洗浄時間の短縮、洗浄精度の向上、最終出力製品の一貫した品質など、多くの利点を提供します。プロセス制御コンソールはプロセス監視と制御用に設計されており、オペレータは各基板に最適なプロセスを作成できます。コンソールには複数の入出力接続があり、プロセスのカスタマイズと自動化が容易に行えます。このコンソールは、視認性の高いTFTディスプレイとグラフィカルインターフェイスを備えており、ウェハクリーニングプロセスのリアルタイム監視と制御を提供します。NUBAL SPL 347には、短い乾燥サイクルと基板ごとに一貫した乾燥プロセスを保証する自動乾燥ユニットが付属しています。乾燥機は、ヒーター、ブローボックス、回転ブレードで構成されています。ヒーターとブローボックスは、回転ブレードと組み合わされた熱風の安定した流れを提供し、基板全体に空気を均一に分布させることができます。これにより、迅速な乾燥時間と一貫した乾燥製品が保証されます。結論として、SPL 347ウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体部品の大規模な生産のための信頼性が高く効率的なツールです。比類のない洗浄精度、高精度、カスタマイズ可能なプロセス制御コンソールを提供し、プロセスの自動化を促進します。自動乾燥アセットにより、基板の一貫した乾燥が保証されます。これらのすべての機能により、NUBAL SPL 347は、集積回路やその他の電子部品の効率的で高品質な製造に最適です。
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