中古 NIKON NRW-504 #9137286 を販売中

NIKON NRW-504 WAFER&MASK SCRUBBERは、加工前後にウェーハやマスクを洗浄するように設計されています。この機械は、ウェーハやマスクから粒子や汚染物質を除去するために、ガスと物理的なスクラブ作用を組み合わせて使用するように設計されています。ガスクラブアクションは、ステンレス製のシェルに囲まれた制御装置を使用し、スクラバーハウジングに接続されています。このシステムは、特定の速度と制御された温度で精製されたガスの調整された流れをスクラバー室に注入します。ガススクラブアクションは、ウエハーやマスク表面に付着した粒子、ほこり、その他の汚染物質を除去します。物理的なスクラビングアクションは、スクラバーハウジングの下部にあるステッピングモーターによって駆動される機械式ブラシアセンブリを使用します。さまざまな洗浄ブラシで構成されるこのブラシアセンブリは、独自の軸で回転し、ウェーハまたはマスク表面をスクラブして不要な粒子を除去します。必要に応じて回転率を調整して、適切で一貫性のあるスクラブ動作をウェーハまたはマスク表面に適用することができます。ウェハスライドとマスクスライド、リニア搬送部品は、ハード/スムーズなベアリング面を持つステンレス鋼から構成されています。これにより、すべての制御動作がスムーズで一貫した環境動作ユニットを提供します。任意線形移動機械は場所からの場所への移動の間に余分保護を提供するように設計されていました。ガスと物理的なスクラビングアクションを組み合わせ、一貫した信頼性の高い洗浄性能を提供します。スクラバーとそのコンポーネントはユーザーフレンドリーに設計されており、最低限の指示とトレーニングで簡単に操作できます。NRW-504 Wafer&Mask Scrubberは、ウェーハやマスクを安全かつ効率的に洗浄する方法を提供します。スクラバーハウジングは単一の壁の鋼鉄と組み立てられ、クリーンルーム操作のためのクラス10000の条件を満たします。制御ツール、ロボット制御モーション、およびデータトラッキング機能が組み合わされ、最高水準の清潔さを実現する信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供します。