中古 NANO MASTER SWC-3000 #293812050 を販売中

NANO MASTER SWC-3000は、生産レベルの半導体メーカーが使用する高度なウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーのNANO MASTERシリーズのトップエンドモデルであり、シリコンウェーハ、クォーツウェーハ、セラミックウェーハ、ハードマスクなど、幅広い基材に適しています。このスクラバーは、粒子懸濁液（PSS）と高度なオゾンフレイ超音波技術の組み合わせを使用して、シリコンウェーハとハードマスクから堆積物、粒子および大きな結合汚染物質を除去します。スクラバーは、複数のスクラビングツールヘッドに対応するように設計されており、迅速で効率的なスクラビング時間を可能にします。SWC-3000は、流量制御、調節可能なノズルヘッド、調整可能な周波数、および2次元スキャンを備えた可逆ポンプ装置を組み込むことにより、ウェーハをスクラブします。この2次元スキャンは、スクラブ性能と効率を最適化するように設計されています。ノズルヘッドは2軸で動くように設計されており、スクラブ操作中に最大の面積カバレッジを提供します。調節可能な周波数設定はまた最も有効なスクラブ速度を可能にします。スクラバーには最先端の圧力モニタリングシステムが搭載されており、圧力変動を検出し、スクラブ操作中の圧力降下を補償することができます。この機能は、最適なスクラブ性能を維持するのに役立ちます。さらに、圧力監視ユニットは、スクラブ溶液の適切な濃度と体積を調節するのに役立ちます。NANO MASTER SWC-3000には、コンデンサー、蒸発器、フィルターを含む効率的でハイテクなエアフィルタリングマシンが装備されています。このエアフィルタリングツールは、スクラブ資産から汚染物質を効果的に除去し、よりクリーンでより効果的なスクラブ操作を可能にします。SWC-3000はユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスで設計されており、操作とスクラバーの展開を簡単にします。フルカラーのグラフィカルLCDスクリーンを使用すると、ユーザーはタッチパネルから直接スクラブや設定を制御できます。このインターフェースにより、正確な測定が可能になり、オペレータはスクラビング速度を調整し、スキャンやノズル速度などのパラメータを設定できます。NANO MASTER SWC-3000は、高度な半導体生産設定において最大限の効率を提供するように設計されています。この高度なスクラバーは、高品質の半導体製品に必要なクリーンで汚染のないウェーハとマスク表面を提供しながら、半導体製造に伴うサイクルタイムとコストを削減します。