中古 MTI MULTIFAB #97293 を販売中
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ID: 97293
ウェーハサイズ: 6"
Developer
Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler
Develop bowl
Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost
Develop module can be set up with puddle dispense or fan spray dispense
Develop module will be set up with one side dispense for DI water
Spare parts package included ($5,000 value)
Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFABは、ウェーハとマスクの効果的で一貫した再現性のある洗浄を提供するウェーハおよびマスクスクラバーです。電気化学プロセス、超純水スクラブ、蒸気相スクラブの組み合わせを利用して、表面粒子、汚染、残留物を安全かつ迅速に除去します。MULTIFABは、敏感な表面を損なうことなく、最高の洗浄性能を提供するように特別に設計されています。複数の洗浄技術を組み合わせることで、MTI MULTIFABは市場で最も汎用性と堅牢なスクラビングシステムです。MULTIFABは、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、ガラス、金属など、さまざまな表面を効果的に洗浄するように設計されています。また、フォトレジスト、エッチング残留物、粒子など、さまざまな汚染物質をきれいにします。有機または無機の残基を除去するように設計されています。MTI MULTIFABで採用されている電気化学プロセスは、基板またはマスク表面の化学結合を引き付けて分解するための溶液を通して通電されたイオンを通過させることを含みます。表面粒子、汚染物質、残留物を効果的に除去します。スクラブと化学プロセスの組み合わせにより、効果的で一貫した再現性のある洗浄性能が保証されます。電気化学プロセスに加えて、MULTIFABは超純水スクラビングプロセスも利用しています。それは基質またはマスクの表面の粒子を緩めるのに超純水を使用します。このプロセスにより、電気化学プロセスに脆弱になり、表面から汚染物質をすばやく除去します。MTI MULTIFABは、高度な蒸気相スクラビングプロセスを使用して、基板やマスクを効果的に洗浄します。このプロセスは、表面の深部に浸透し、汚染物や残留物の粒子を混乱させるために、表面に超純水を噴霧する微細な霧を利用します。高度なリサイクル技術により、ウェーハやマスクを長時間にわたって連続的に洗浄することができます。MULTIFABは、高品質の結果を維持しながら、運用コストを低く抑えるように設計されています。大容量の液体タンクを使用し、スクラビングサイクルを延長しながら、コスト効率の高い操作を可能にします。また、高度なユーザーインターフェイスを備えており、操作とメンテナンスを迅速かつ簡単に実行できます。MTI MULTIFABは、さまざまなウェーハおよびマスク材料に信頼性の高い効率的な洗浄を提供します。プロセス、高度な流体タンク、およびユーザーインターフェースの組み合わせにより、基板とマスクを迅速かつ効率的に洗浄できる費用対効果の高いソリューションが保証されます。これは、市場で最も汎用性と堅牢なスクラビングシステムです。
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