中古 MTI MULTIFAB #97291 を販売中

MTI MULTIFABは、効率的で効果的なウェーハおよびマスクスクラバーソリューションです。このスクラバーは、電子チップの製造工程で捕獲された可能性のある残留粒子や不純物の除去に役立つように設計されています。MULTIFABは、半導体業界で使用される、最高品質で信頼性の高い性能のチップを解凍するためのツールです。スクラバーは、水、溶剤、および気流の実行可能な組み合わせを使用して動作します。ウェーハやマスクをスクラバーに配置するとすぐに、クリーニングプロセスが始まります。製造工程で捕獲された可能性のある粒子や不純物を溶解するために、水や溶剤を分配します。粒子と不純物が溶解すると、強力な気流がウェーハやマスクからスクラブされるのを助けるために使用されます。効果的で一貫性のある結果を得るために、スクラバーはプログラマブルサイクルレイアウトを提供し、ウェーハおよび/またはマスクを現在の材料や粒子の種類に応じて調整した洗浄を可能にします。スクラバーは、洗浄プロセス中にウェーハやマスクを移動させるための効果的なコンベアシステムを備えています。このコンベアシステムは、ウェーハおよび/またはマスクを手動で取り扱うリスクを最小限に抑え、輸送中にさらに汚染されないようにします。スクラバーには、さまざまな角度に配置された複数のスクラビングノズルが装備されており、最適で効果的なスクラビングを保証します。MTI MULTIFABには、いくつかの使用強化機能も装備されています。これには、包括的なレシピ設定、インプロセスセンシング技術、調整可能なパラメータ、組み合わせたスクラブ機能、データロギング機能が含まれます。これにより、スクラバーは特定のウェーハ/マスクの特定の要件に合わせてチューニングでき、使用状況のデータもロギングできます。MULTIFABは、ウェーハやマスクから粒子や不純物を除去するための高効率で信頼性の高いスクラバーソリューションです。調節可能なパラメータ、コンベアシステム、データロギング機能と組み合わせた水、溶剤、および気流の組み合わせは、最高品質のチップが製造されることを保証するために協力します。