中古 MAT MAT 507BW #9382388 を販売中

MAT MAT 507BWは、ウェーハ製造プロセス中に基板やマスク上の粒子汚染やその他の残留物を容易に低減できる革新的なウェーハおよびマスクスクラバーです。この高度なスクラバーは、有機および無機粒子を効率的に除去するように設計されており、複数の基板の高速処理を可能にします。ウェーハとマスクスクラバーは、2段階の粒子除去スクラビングディスクを備えたコンパクトで堅牢なステンレススチールスクラバーチャンバーで構成されています。第1段階は、ウェーハやレチクルパターンから粒子を除去するために使用されます。第2段階は、SMIF/FOUPウェーハのパターンから粒子を除去するのに役立ちます。スクラバーには、ウェーハの取り扱いを簡素化する自動マルチウェーハカセット処理装置も備えています。MAT 507BWは、ウエハカウント、ウィンドウサイズ、スクラブ圧力、ウェハインデックス、トランスデューサの健康モニタリングなどの高度な機能を備えたスクラバー操作の自動制御を備えています。スクラバーには、基板スクラビングプロセスをリアルタイムで監視するための圧力検出素子もあり、処理条件を正確に制御できます。スクラバーには、洗浄面を常に潤滑し続けるのに役立つ湿式システムもあり、クリーンで均一なウェーハ洗浄を保証します。スクラバーには高度な抽出ユニットもあり、スクラビングプロセス中に生成された粒子を除去するのに役立ちます。これにより、チャンバー内の最適な清浄度を維持しながら、粒子がウェーハやマスクに付着するのを防ぐことができます。スクラバーにはユーザーフレンドリーなプログラミングと操作コマンドがあり、使いやすいです。MAT MAT 507BWは、半導体ウェーハ製造およびマスク洗浄プロセスでの使用に最適な汎用性の高いスクラバーです。マルチウェーハカセット処理機は、スクラブ処理を高速化するとともに、チャンバーへの汚染物質の侵入リスクを低減します。その高度な抽出ツールは、処理環境を清潔に保ち、粒子を排除するのに役立ちます。この高度なウェーハとマスクスクラバーは、業界で貴重なツールであり、その堅牢な設計により、信頼性の高い、高品質のパフォーマンスを保証します。