中古 MAT 1207BWA #9153452 を販売中

MAT 1207BWAはフォトマスクの酸化保護そして清潔さを提供するように設計されているウェーハおよびマスクのスクラバーです。このスクラバーは、エッチングまたはクリーニングの完全なプロセスを完了した後、マスクの残留物を完全かつ安全に除去できます。トップローディングウエハやマスクスクラビングプラットフォーム、強力な多段式洗浄プロセス、一体型のサブアンビエント温度制御装置など、優れた洗浄性能を発揮する様々な機能を備えています。このスクラバーは、溶剤と洗剤の混合液を利用した高性能の多段式洗浄プロセスと、ウェーハとマスクの表面を徹底的に浄化する機械的作用を利用しています。エッチングやクリーニングが完了した後に、ほこり、破片、粒子、残留フォトレジスト、ウェーハ表面やマスクに残されたモノマーなどの様々な汚染物質を除去します。スクラバープラットフォームが移動すると、洗剤溶液がウェーハとマスクの表面をスクラブできるようにブラシが回転します。スクラビングプロセスは非常に効率的で、最も頑固な残留物を除去するのに強力です。1207BWAスクラバーには、分子クリーニングプロセス全体の温度を正確に制御するサブアンビエント温度制御システムが装備されています。この温度制御は、表面の完全性を維持しながら、洗剤溶液が深く効果的なクリーンを提供できるように最適な環境を提供するのに役立ちます。この温度制御により、ウエハーやマスクの表面を涼しく保つことで結露を防ぎ、化学汚染を引き起こす可能性があります。最高レベルのウェーハとマスクの清潔性を確保するために、スクラバーには空気浄化ユニットが内蔵されています。この精製機は、ゴミ、ゴミなどの残留フォトレジストやゴミを空気から取り除くことができ、スクラブ工程中のウェーハやマスクの再汚染を防ぐことができます。MAT 1207BWAウェーハとマスクスクラバーは、すべてのフォトマスクに優れた清潔性と酸化保護を提供します。強力なスクラビングプロセスと精密な温度制御ツールを組み合わせて最適な表面清浄性を確保し、空気浄化資産はほこり、破片、およびさらなる汚染につながる可能性のある残りのフォトレジストまたは破片を排除します。高度な機能を備えたこのスクラバーは、あらゆるフォトマスク洗浄プロセスにとって信頼性が高く効率的なソリューションです。