中古 M-SETEK VR 8000 #9092966 を販売中

M-SETEK VR 8000は、さまざまな基板を効果的に洗浄するように設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。7軸ロボットアームを搭載し、最大180度の動作を可能にし、正確かつ効率的なマスク洗浄を実現します。また、ドライクリーニングとウェットクリーニングの両方の機能を提供し、敏感な基板の物理的および化学的クリーニングの両方を可能にします。VR 8000には自動ウェーハハンドリングシステムが搭載されており、直径300mmまでのウェーハの迅速かつ正確なローディングとアンロードが可能です。ロボットアームは傷のつきにくいフッ素樹脂でコーティングされているため、表面の損傷を防ぐことなく、さまざまな硬度の基板で安全に使用できます。LED照明を採用した観覧室により、ウェーハ表面の検査が容易に行えます。スクラバーは高性能の空気圧縮機によって動力を与えられ、ガスはキャビネットを洗い流しました。これらの部品は、正確で一貫した洗浄性能のために、一定の真空と空気圧の両方を提供します。スクラバーには、ウエハ表面に送られる洗浄剤の量を正確に制御することができる、一連の特殊ノズルも含まれています。M-SETEK VR 8000はレーザー安全装置、発煙抽出器、および背圧弁を含む多数の安全機能が装備されています。これらの機能は、スクラバーの安全かつ効果的な動作を保証し、潜在的に危険な化学物質からオペレータを保護します。内蔵のユーザーインターフェイスはスクラバーの操作を簡素化し、一連のセンサーはシステムのパフォーマンスをリアルタイムで監視します。VR 8000は、高度で完全に統合されたウェーハとマスクスクラバーです。7軸ロボットアームと自動化されたウェーハハンドリングシステムにより、効率と精度が向上します。強力なエアコンプレッサーとガスフラッシュキャビネットは、一貫したクリーニング性能を提供し、一連の安全機能により安全な動作を保証します。スクラバーには、LED照明付きの観覧室も備えており、精密な目視検査が可能です。その結果、M-SETEK VR 8000は、洗浄プロセスの速度と精度を最大化するために探している実験室や施設に最適です。