中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9410727 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergyは、半導体デバイスの信頼性と均一性を向上させるために半導体業界で使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。この装置は、ONTRAKレーザーアブレーション技術とLAM RESEARCH Technologiesスクラビングシステムの専門的な組み合わせを使用して、半導体製造プロセスで使用される重要なマスクとウェーハの欠陥の発生を低減します。このシステムで使用されるレーザーアブレーションプロセスは、デバイス製造時に使用される金属、ポリイミド、および低k誘電材料から表面汚染およびパターン欠陥を正確に除去します。このプロセスは、基板に影響を与えることなく一貫した除去を提供します。レーザーアブレーションプロセスが完了すると、ユニットはLAM RESEARCH/ONTRAKスクラビング技術に切り替わり、コンタクトマスクパターンの均一な除去を促進し、欠陥粒子の発生を低減します。ONTRAK Synergyマシンはすべて1つのコンパクトな設計でパッケージ化されており、多種多様な半導体製造環境での使用に最適です。また、洗浄中の部品との接触を最小限に抑えるために、自動化されたタッチレス洗浄プロセスも組み込まれています。これにより、潜在的な汚染が発生するのを防ぎ、部品をきれいにすることができます。さらに、このツールは、さまざまな高度なソフトウェア機能を使用して資産パラメータを正確に制御し、幅広い半導体アプリケーションに最適な結果を得ることができます。このモデルは安全性を考慮して設計されており、レーザーインターロックシステム、ライトカーテン、カメラ監視などの安全性を高めるためのさまざまな機能とシステムを備えています。また、SEMI、安全衛生管理局、ISOなど、さまざまな規制や規格に準拠しています。全体として、LAM RESEARCH Synergyは、半導体製造プロセスで使用される重要なマスクやウェーハの欠陥粒子の発生を低減するために設計された高性能クリーニングシステムです。このユニットは、高度なレーザーアブレーションとスクラブ技術の組み合わせを使用して、均一で一貫した洗浄を保証し、表面の完全性を維持します。さらに、コンパクトなサイズと自動化されたプロセスにより、さまざまな製造環境での使用に最適です。また、クリーニング環境を人員や機器に安全に保つために、さまざまな安全機能が組み込まれています。