中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9384775 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergyは、半導体製造アプリケーション向けに高品質で精密なスクラビングソリューションを提供するために設計された最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。ONTRAKとLAM RESEARCHの先端技術を組み合わせ、効率性と有効性を最大化するシステムです。スクラバーは、低圧、低流量、プログラム可能なブラシヘッドスプレーシステムを備えたファインピッチアクチュエータを備えた2軸ロボットアームを採用し、材料使用量を最小限に抑えて最適なスクラブ結果を提供します。ロボットは作業負荷全体を担い、ウェーハ表面の均一で均一なスクラブを可能にします。このソリューションはまた、アクティブなパーティクルキャプチャフィルタを備えた静電気充電、濾過、電子加熱乾燥機を利用しています。これにより、ウェーハをすばやく完全に乾燥させ、残留物を残さないようにします。スクラバーは最大の柔軟性を目的として設計されており、既存のウエハ径は300mmまで、マスクサイズは220mmまで対応します。また、最大8枚のウェーハと4枚のマスクを同時に片付けることもできます。また、最大6,000ウェーハ/時間という驚くほど高いスクラビングスループットを実現しています。ONTRAK Synergy Scrubberは、特定の生産要件を満たすように設計された高度にカスタマイズ可能な自動化されたプロセスフローにより、半導体製造プロセスに利便性と正確性の両方をもたらします。高度な機能により、高いスクラブ/ドライヤサイクル、さまざまな表面形状に合わせて調整できるクリーニングノズル、コンピュータ制御の介入ポイントなど、複数の構成が可能です。スクラバーは、アプリケーション固有の要件によって駆動される、自動装置設計の最高水準を満たすように設計されています。これは、予防メンテナンスを必要とする前に、年間2000万個以上の部品を持続することができます。これは、冗長センサー、インターロック、自動エラー検出および回復アルゴリズムなどの高度な安全機能を使用することによって保証されます。LAM RESEARCH Synergy Scrubberは、費用対効果の高い効率的なソリューションを提供することに尽力しています。その柔軟性と高度な自動洗浄プロセスと組み合わせると、その低い運用およびメンテナンスコストは、生産グレードのスクラビングソリューションのための最良の選択肢の1つになります。