中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #293761471 を販売中
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LAM RESEARCH/ONTRAK Synergyは、洗練された半導体加工のために設計されたウェーハとマスクスクラバーです。ハイブリッドタイプのスクラバーで、従来のブラシの中でも最高のブラシと、空気を発生させるジェット機の優しくて効果的な攪拌を組み合わせています。このスクラバーは短い入浴時間を特徴とし、より高い収率、より速いスループット、および優れた洗浄結果をもたらし、より正確で反復可能なプロセス性能を可能にします。また、運用コストも低く、さまざまな柔軟なオプションで構築されており、さまざまなプロセス要件に最適な適合性を確保しています。スクラバーは、モーターと制御を一体化したステンレス製のベース構造で構成されており、よりコンパクトで省スペースな設計につながります。これらの機能を組み合わせることで、信頼性の向上とダウンタイムの最小化を実現します。スクラバーには、残留物を効果的に中和するための統合された低圧脱イオン(DI)水システムも含まれています。この高度なシステムは、環境への影響を最小限に抑え、より持続可能なプロセスを実現するのにも役立ちます。スクラバーには、さまざまなユーザーフレンドリーなスクラビングツールも付属しています。スポンジ、ロータリーブラシ、ホイールブロワーなどの簡単なツールは、スクラブをより効果的にするのに役立ちますが、安全なフォームハンドル、低臭いスクラビングパッドはオペレータのためのより良い人間工学を保証します。スクラバーの直感的な制御システムは、処理に必要な機能を簡単に選択でき、アラーム付きのデータ収集ツールは、健康を処理するための洞察を提供します。また、自動キャリブレーション、自動フィーレート調整、および推測を排除し、プロセスのパフォーマンスを監視する外部アラーム機能などの機能も備えています。高速かつユーザーフレンドリーなプロセスにより、ユーザーは処理時間と歩留まりを削減でき、空気発生ジェットは幅と耐衝撃性を調整可能で、ウェーハやマスクの損傷を避ける穏やかな攪拌を提供します。高精度スクラブのために、ONTRAK Synergyスクラバーは、サイクル時間を最小限に抑え、プロセス歩留まりを向上させる優れた洗浄結果を提供できます。このスクラバーは、効率的で信頼性が高く、再現性のある半導体ウェーハとマスクスクラビングに最適なツールです。
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