中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #293627340 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergyは、自動車、航空宇宙、および半導体ウェーハおよびマスクのすべてのタイプにおいて、正確で信頼性の高い反復可能な粒子除去を提供するように設計された先進的なウェーハおよびマスクスクラバーです。このウェーハスクラバーは、さまざまな機能と機能を備えた最新の半導体製造工場のニーズに対応するように設計されています。信頼できる反復可能なパーティクル除去装置を備えたこのスクラバーは、ウェーハとマスクが目に見える有害な粒子から解放され、正確で信頼性の高い性能を保証します。LAMONTRAK Synergy Scrubberの粒子除去システムには、効果的な洗浄のための2軸および3軸スクラバーが含まれています。2軸スクラバーは、ウェーハとマスクのエッジと表面から粒子を効果的かつ迅速に除去します。一方、3軸スクラバーは、ウェーハやマスクのエッジ、フロント、背面に均一で一貫したクリーンを実現するために機能します。このスクラバーには、スクラブ中の正確なアライメント、配置、および動きを保証するように設計されたウエハハンドリングユニットも付属しています。また、ユーザーに使いやすくユーザーフレンドリーなControl Machineを提供し、加速と減速、速度と力、ウェーハとマスクサイズ、スクラブ材料の種類など、スクラバーのクリーニングパラメータをプログラムおよび制御できます。さらに、8インチおよび12インチのフラットパッド、2インチおよび3インチの半径コアパッドなど、さまざまな材料や用途に対応するさまざまなスクラブパッドを選択できます。優秀な粒子取り外しのために、スクラバーは調節可能である特別なウォータージェットおよびブラシが装備されています。安全性とメンテナンスの観点から、LAMLAM RESEARCH Synergy Scrubberには、ウェーハの存在検出器、振動計、水漏れ検出ツールなどの広範なスマートオートメーション機能とセンサーが搭載されています。このスクラバーには、パーティクル除去の改善と安全性を最大限に高めるための多層スクラバー保護資産のための作業完了時の自動エアフラッシングも備えています。全体的に、Synergyスクラバーは、パーティクル除去と最適化された洗浄のための機能と利点の完全な範囲を提供します。このスクラバーは、信頼性と正確な性能、ユーザーフレンドリーなモニタリングモデル、高度なオートメーション機能を備えており、自動車、航空宇宙、半導体ウェーハおよびマスクに最適です。