中古 LAM RESEARCH DSS 200 #9230902 を販売中

LAM RESEARCH DSS 200
ID: 9230902
ウェーハサイズ: 6"
Post CMP cleaners, 6".
LAM RESEARCH DSS 200は、半導体ウェーハおよびフォトマスク洗浄およびコンディショニング用途向けに設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。最先端の洗浄技術と技術を駆使し、最高レベルの清浄度と全体的な性能を実現する、パワフルで省スペースの装置です。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200は、最高レベルのウェーハおよびマスクスクラブ機能を提供し、ユーザーが生産プロセスを最大限に活用できるようにします。デュアルスクラビングヘッドを使用し、水平方向と垂直方向に独立して移動し、集中したスクラビングアクションを提供します。DSS 200は異なったクリーニングおよび調節の適用のための異なった速度でさまざまなスクラブヘッドを動かすようにプログラムすることができます。また、ウェーハマスクのコンディショニングチャンバーを備えており、スクラブ前にウェーハとフォトマスクを調整することができます。バイオスクラバーと熱重力スクラバーを備えており、どちらも最高のパフォーマンスと最高レベルの清潔さを提供します。熱重力スクラバーは、加熱ケージと垂直エアカーテンを使用して、表面に残された残留物をすばやく除去します。ONTRAK DSS 200は、高度な制御とソフトウェアによってサポートされています。リアルタイムのフィードバックと診断を提供しながら、ユーザーのニーズに応じて自動的に実行し、スクラブ速度を調整するようにプログラムすることができます。さらに、ウェーハやフォトマスクの損傷を最小限に抑えるように設計されているため、製造遅延が少なくなります。LAM RESEARCHは、安全性、信頼性、コスト効率を念頭に置いてLAM RESEARCH DSS 200を設計しました。このデバイスにはHEPAのろ過ユニットが装備されており、ほこりの粒子を捕捉して取り除くことができます。さらに、このデバイスは高品質の材料、厳格なプロセス、高度な自動試験手順を使用して、長期的な信頼性と性能を保証します。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200は、半導体ウェーハおよびフォトマスク洗浄およびコンディショニングアプリケーションに優れた性能、信頼性、コスト効率を提供する高度なウェーハ&マスクスクラバーです。DSS 200は、高度な機能、制御、ソフトウェア、濾過機を備え、効率的で費用対効果の高いクリーンルーム操作に最適なソリューションです。
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