中古 LAM RESEARCH DSS 200 #293595365 を販売中
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LAM RESEARCH DSS 200 Wafer and Mask Scrubberは、汚染からウェーハやマスクを洗浄する高精度ツールです。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200は汚染のない操作を提供し、クリーンルームの使用のために設計されています。それは長い生命および優秀な耐食性のためのステンレス鋼の組み立てられます。DSS 200は、回転ブラシと取り外し可能/交換可能な脱気パドルを組み合わせた2段階のスクラビングプロセスを備えています。この2段階のプロセスでは、表面を保護しながら、ウェーハやマスクから粒子や塩分残留物などの汚染物質を除去します。スクラバーには、一貫した結果を保証するための高流量ろ過装置も含まれています。ONTRAK DSS 200は、さまざまな生産要件に合わせて幅広いスクラビングパラメータを提供します。20°C〜40°Cの温度範囲で、+/-1°Cの温度精度と最大800 RPMの可変スクラブブラシ速度を備えています。ウェーハやマスクの存在を感知し、それに応じて調整することができます。音響センシングシステムは、残留オーバースクラブから保護し、一貫した結果を保証します。スクラバーの幅は33インチ、高さは51インチで、クリーンルームに設置された大型で手ごわい装置です。LAM RESEARCH DSS 200の総重量は690ポンドで、単一三相電源で動作します。1分間に最大650立方フィートの空気量のために設計された8フィートの排気スタックアウトレットを備えています。スクラバーには、より大きな制御のための直接駆動フォースモーターも備えています。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200は、さまざまな安全機能も備えています。照らされた連結単位はオペレータの安全を保障し、作り付けのフィルター機械は停電の場合にはスクラバーを保護します。スクラバーには、前例のないパフォーマンスの洞察を提供する高度な診断ツールも含まれています。DSS 200ウェーハとマスクスクラバーは、クリーンルーム環境に最適です。これは、信頼性と一貫したパフォーマンスを提供するように設計されており、その高度な安全機能は追加のボーナスです。優れたスクラビング体験のために、ONTRAK DSS 200は理想的なソリューションです。
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