中古 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293668768 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Coronusは、ハイテク半導体プロセス用に設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。スクラバーは、洗練されたイオン源アレイからなる独自のシステムを使用して、高精度の洗浄と高度なプラズマ源テクノロジーを提供し、スクラブとクリーニング力を最大化します。Coronusは、ウェットスクラブ、ドライスクラブ、マスククリーニング、ウェーハスクラブ、プラズマアッシングなど、さまざまな用途向けに設計されています。コロナスは、いくつかの主要なコンポーネントで構成されています。イオン源アレイ、電源、真空ポンプ、および基板表面上にツールを移動するロボットアームを備えています。イオン源アレイは、非常に小さな粒子状物質の強力なプラズマ洗浄を提供し、アプリケーションに応じてさまざまな波長とエネルギーにチューニングすることができます。電源はプラズマの強度を制御して正確な洗浄を行い、真空ポンプは工具と基板の内部清浄度を維持します。ロボットアームは、ウェーハまたはマスクの処理を1つの操作ポイントにする自動スクラブを可能にします。コロナスの先進的なプラズマクリーニングシステムは、最大12インチのサイズの基板を処理でき、クリーニング速度は手動スクラブよりも3倍も速くなります。このツールはまた、あらゆる形状、サイズ、および組成物のウェーハ基板をサポートするように設計されています。コロナスの堅牢な設計と高度なエレクトロニクスにより、最も困難な表面でも効率的に洗浄できます。Coronusは非常にエネルギー効率が高く、高性能と低メンテナンスを維持しながら、不要なガスの排出を制限する環境に優しい設計をしています。ユニットのモジュラー設計とオープンアーキテクチャにより、メンテナンスとアップグレードが容易になります。さらに、Coronusは幅広いオートメーションおよびプロセス監視システムと互換性があるため、既存の半導体生産ラインに迅速に統合することができます。全体として、2300 Coronusは、半導体の製造に使用するために特別に設計された信頼性の高い効率的なウェーハおよびマスクスクラバーです。高度なプラズマ技術と自動化を組み合わせ、正確な洗浄と高性能な結果を提供します。コロナスのモジュラー設計と柔軟なアーキテクチャにより、さまざまなニーズに対応できる高性能なツールとなっています。