中古 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293665044 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Coronusは、半導体デバイス製造のための高度な洗浄制御を提供するウェーハおよびマスクスクラバーです。2300コロナスは、スクラビングプロセスの正確な制御を維持しながら、効果的に汚染物質を除去するように設計されています。スクラバーは、掃除機、洗浄液、超音波技術の組み合わせを利用して、ウェーハやマスクから粒子や不純物を効率的に除去します。クリーニングプロセスは、現在および歴史的なウェーハおよびマスククリーニングパラメータを示すリアルタイムグラフィカルディスプレイを備えたコントローラによって監視されます。スクラバーにはカンチレバー製のスクラビングヘッドが装備されており、最適なスクラビング効率を実現します。このスクラビングヘッドは、ウェーハエッジの損傷を最小限に抑えながら、より大きなクリーニングカバレッジを提供するように設計されています。スクラビングヘッドは、粒子サイズ、スクラブ圧力、および往復運動を洗浄するためにも調節可能です。スクラバーは、蒸発乾燥エリア、クリーンルーム搬送エリア、洗浄ゾーンを含む3ゾーンのスクラブ装置を使用しています。蒸発乾燥ゾーンでは、ウェーハはエアジェットによって掃引され、同時にチッププロファイルの清浄度を最大限に高める超音波振動アクションによって洗浄されます。クリーンルーム搬送部は気化した粒子を緩衝し、搬送時にウェーハ上で再定住するのを防ぎますが、洗浄部はゴミを効果的に除去するために穏やかなスクラブ動作を使用します。LAM RESEARCH 2300 Coronusは、3ゾーンのスクラビングシステムに加えて、流体供給ユニットも備えています。このマシンは、ウェーハに適切な量と種類の洗浄化学を適用するように設計されています。このツールは、HFE、 IPA、 DI Waterなどのさまざまな化学物質を適用しながら、洗浄パラメータを正確に監視および制御して最適な洗浄結果を保証することができます。2300 Coronusは、高スループット動作向けに設計されており、幅広いプロセス制御オプションを提供します。ユーザプログラマブルなレシピとロギングをサポートする高度なソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアには、ウェーハやマスクの追跡、アラーム通知、自動シャットオフなどの安全機能も内蔵されています。LAM RESEARCH 2300 Coronusは、正確で効果的なウェーハとマスクスクラビングのための効率的で信頼性の高いツールです。