中古 KOCAT KSI-701 #9314418 を販売中
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ID: 9314418
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOCAT KSI-701は、KOCAT株式会社が製造するハイエンドのヘビーデューティウェーハおよびマスクスクラバーです。半導体組立・加工用途向けに設計されており、大規模な生産ラインのニーズに最適です。KOCAT KSI 701は、クリーニング、スクラブ、研磨機能の広い範囲で、優れた性能と使いやすさを提供します。その主な目的は、さまざまなバックエンド生産プロセスで使用されるウェーハやマスクの表面を洗浄し、復元するプロセスを支援することです。ウェーハまたはマスクの両面を独立してスクラブすることができ、量産作業を迅速かつ効果的にスクラブすることができます。また、高効率かつ高効率なKSI-701を使用することで、部品表面の汚染やその他の蓄積を低減することができます。KSI 701は、ウェーハやマスクを高品質に洗浄、洗浄、研磨することができる完全自動化された機械です。これは、X-Yスクラビングテーブル、リニアVPIスクラビングシステム、振動スクラビングシステムなどの統合機能の範囲によって実現されます。また、最先端のウェーハハンドラは、最大25mmのウェーハを容易に取り扱えるため、洗浄能力も向上しています。安全・メンテナンス面では、蓋インターロック、ガス遮断機能、自動遮水機能など、さまざまな保護機能を備えたKOCAT KSI-701。これにより、安全な操作が保証され、手動メンテナンスの必要性を減らすことができます。また、さまざまなアラームやセンサーを搭載しており、部品を損傷から保護するために、操作の不規則性を検出することができます。KOCAT KSI 701は、小規模及び大規模半導体製造用途向けに設計された革新的な製品で、幅広い洗浄、スクラブ、研磨機能を提供します。信頼性が高く、効率的で使いやすく、ハイエンドおよびエントリーレベルの生産ラインの需要に最適です。さらに、高度な安全性と監視機能により、品質と安全性がスピードに影響されることはありません。
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