中古 KOCAT KSI-601 #9248799 を販売中

KOCAT KSI-601
ID: 9248799
ヴィンテージ: 2011
Scrubber 2011 vintage.
KOCAT KSI-601は、要求の厳しい半導体ウェーハおよびマスク処理環境において、信頼性の高い性能と耐久性を提供するように設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。それに円形、正方形、長方形および多面的なウエハーを含むいろいろなウエハーおよびマスクの形、サイズおよびタイプを、収容できる適用範囲が広いスクラビングシステムがあります。スクラブ機構は、可変速度制御を備えたヘビーデューティで高性能なモータによって駆動され、スクラブ操作の洗練された制御を可能にします。スクラバーには、生産的で効率的なスクラビングプロセスを確保するための多くの機能が装備されています。高出力モータは、必要に応じて連続的または一瞬停止するように設定することができるため、スクラビングプロセスを特定のアプリケーションに合わせて調整することができます。スクラビングシステムには取り外し可能なカバーが装備されており、プロセス中のウェーハおよび/またはマスクの完全な清潔さを保証します。さらに、KSI-601は、可能性のある汚染を防ぎ、スクラブ材をきれいに保つために、エアタイトケーシングに囲まれています。KOCAT KSI-601の性能を高めるために、スクラビングシステムはまたスクラバーの紡錘およびバスケットの位置の微調整を提供します。これにより、ウェーハまたはマスクの特定の部分を制御し、正確にスクラブすることができます。スクラビング設定は、スクラビングユニットにあるコントロールダイヤルとスイッチを使用して簡単に調整できます。さらに、これらの設定を保存することができ、その後のタスクで同じスクラブ設定を再利用することができます。KSI-601ウェーハとマスクスクラバーは、さまざまな半導体プロセスのためにウェーハとマスクをスクラブする堅牢で効率的なツールです。ウェーハまたはマスクバッチの最高歩留まりを確保するための高精度な結果を提供します。調節可能なスクラブスピンドルとバスケットの位置は、処理されているウェーハまたはマスクの正確な領域にスクラブ圧力と流体を効果的に適用することを可能にし、スクラブ材料の完璧な洗浄をもたらします。スクラバーの頑丈な性質は、効率的な設計と組み合わされて、最も厳しい産業基準と要件を満たすことができる信頼できるツールであることを保証します。
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