中古 KOCAT KC-805 #9099439 を販売中

KOCAT KC-805ウェーハおよびマスクスクラバーは、半導体製造のための最高品質のウェーハおよびマスククリーニングを保証するために設計された特殊なロボット機器です。このシステムは、ウェーハとマスクの両方の汚染を除去し、その完全性を維持するための信頼性と効率的なソリューションであるために構築されています。KC-805は、独自に設計されたプロセスチャンバーと特許取得済みのウェーハとマスクスクラビングヘッドを備えており、3つの独立して調整可能なウェーハホルダーと3つのマスクホルダーを備えています。これらのホルダーは、最大10個のフルサイズウェーハと、プロセスサイクルごとに4個のマスクアレイをサポートします。スクラビングヘッドは、高精度で調整可能なスクラビング速度で4軸動作が可能で、最大の洗浄能力を発揮します。特別に設計されたウィスカーとスクラビングパッドを使用すると、汚染物質や粉塵を効果的に除去することができます。KOCAT KC-805にはPLCと専用のオペレーティングユニットが搭載されており、プロセス制御の微調整と再現性の向上を可能にします。このマシンは、スクラブ速度、再充電力、クリーニングゾーンなどのプロセス設定に簡単にアクセスできる高度な制御アルゴリズムを提供しています。これにより、洗浄プロセスが一貫しており、信頼性が高いため、半導体業界の厳しい仕様を満たすことができます。KC-805はまた、迅速かつ簡単なセットアップとメンテナンスのための自動ローディングとアンローディングツールを備えています。ローディングとアンロードのアセットは人間工学に基づいて構築されており、ユーザーはウェーハやマスクを掃除しながら怪我や疲労を避けることができます。また、独立した水と洗浄ステーションを備えており、簡単な洗浄ソリューションのメンテナンスとリサイクルが可能です。KOCAT KC-805ウェーハとマスクスクラバーは、高品質で信頼性の高いクリーンルーム生産に最適です。特許取得済みのスクラビングヘッドと正確な4軸モーションにより、汚染や粉塵を迅速かつ安全に除去することができます。統合された制御アルゴリズム、容易なローディングおよび荷を下すことおよびリサイクルの場所によって、それは生産が一貫した、有効なままであることを保障します。