中古 KOCAT KC-601 #9314417 を販売中
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ID: 9314417
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOAT KOCAT KC-601 Wafer and Mask Scrubberは、シリコンウェーハやマスクスクラブ用の連続的で高性能なウォータージェット洗浄を提供するように設計されたコンパクトで使いやすいマシンです。このユニットは、最高の制御と精度を提供する特許取得済みのジェット設計を備えており、最適な清潔さを確保するのに役立ちます。使いやすいワンボタン操作により、作業モードを簡単に切り替えることができ、濡れた基板と乾いた基板の両方をすばやく簡単に洗浄できます。KOAT KC-601には高圧トリプルポンプが装備されており、スクラビングプロセスが効率的で均一であることを保証します。ステンレスボディと自動化された操作により、最も要求の厳しい環境でも、その状態と清潔さを維持することができます。調節可能なノズルは吹き付ける方向を容易に指し、制御するために最大限に活用されます。これにより、精度を確保し、クリーンな操作のための意図しない液体の飛散を低減します。また、KOAT KOCAT KC-601には二酸化ケイ素フィルターも搭載しています。この濾過装置は、残りの残留物が効果的に除去されるように、微細な粒子を捕捉および除去するように設計されています。その結果、機械の洗浄性能が向上し、優れた仕上がりとなります。KOAT KC-601は、高度な安全機能を備えたシステムで製造されており、安全で安全に使用できます。プレッシャーコントロールユニットはウォータージェットの圧力を調整し、セーフティシール機は水の浸入を防ぎます。さらに、内蔵のビジュアルディスプレイは、操作性とスクラビングプロセスの視覚的な表示の両方を提供します。全体として、KOAT KOCAT KC-601は強力でユーザーフレンドリーなスクラビングソリューションを提供します。効率的で信頼性の高い操作により、あらゆるウェーハやマスクスクラビングプロセスに最適です。KOAT KC-601は、パフォーマンス、精度、安全性の最先端のブレンドにより、優れた品質のスクラバーをお探しの方に最適です。
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