中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-45S #9194567 を販売中
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ID: 9194567
Mask aligner
Tooling mask plates sizes: 2", 3", 4"
350 W Lamp
Eyepiece: Split field microscope system w 10
External UV light meter
With matching probe.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-45Sは、半導体製造で使用されるウェーハおよびマスクスクラバーです。この装置は、ウェーハおよびマスク洗浄のプロセスを自動化するように設計されています。MICROTEC MJB-45Sには、積み降ろし用のロボットアームと、加工用の4つのステーションが装備されています。このシステムは、改善された結果のための多段クリーニング操作を持っています。まず、カセットからウェーハやマスクを取り外し、ウェットステーションに配置します。ウェットステーションでは、ウェハまたはマスクに加熱洗浄液を噴霧し、表面にある可能性のある粒子や破片を除去します。その後、ロボットはウェーハまたはマスクを洗浄ステーションに運び、残りの残留物を除去するためにDI水で洗浄します。スクラバーステーションでは、ウェーハまたはマスクを柔らかいブラシでやさしくスクラブし、粒子が除去されていることを確認します。ウェーハの場合、ロボットはウェーハを乾燥したドライヤステーションに運びます。ウエハやマスクを洗浄したら、カセットに戻して製造工程の次のステップに進みます。KARL SUSS MJB-45Sは、多種多様なスクラビングプロセスにおいて、高い精度、精度、再現性を提供します。また、一貫した制御可能な洗浄サイクルを持ち、高品質でパーティクルフリーの結果を確実に生成することができます。また、水消費率が低いため、オペレータは頻繁にクリーニングソリューションを交換または補充する必要はありません。さらに、クローズドループプロセスで使用するように設計されているため、同じ洗浄液を複数回使用することができ、廃棄物を減らすことができます。MJB-45S信頼性と効率性だけでなく、信じられないほど安全です。このユニットは安全を念頭に置いて設計されており、センサーと保護装置が装備されており、怪我のリスクを劇的に低減します。機械はまた人間工学的であるように設計されています、オペレータのために使用することを容易にします。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MJB-45Sは、ウェーハやマスクのための効果的で効率的なスクラビングツールです。それは一貫した、信頼できるプロセスを提供し、安全および人間工学を念頭に置いて設計されています。クリーニングソリューションの廃棄物を最小限に抑え、高精度で再現性のある結果を得ることができ、粒子のない結果を必要とする半導体製造工程に最適です。
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