中古 KARL SUSS / MICROTEC ASC 5500 #9355468 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC ASC 5500は、半導体製造および試験用に設計された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。ウェーハ表面からフォトレジストや不要な堆積物を除去するための迅速かつ効率的で再現可能な方法を提供することができます。スクラバーには、統合された制御ユニットと、最大25,000rpmの高出力スクラビングモータが装備されています。ウェーハサイズや厚みを幅広く正確に加工できる調整可能なプラットフォームを備えています。スクラバーには2つのクリーニングヘッドが装備されており、さまざまなスクラブ技術を通じて効率的な化学洗浄作用を提供するように設計されています。このスクラバーは、クリーニングメディアの消費を最小限に抑え、非常に安定した効率的なクリーニング装置を提供するように設計されています。スクラバーは、最適な洗浄性能を提供しながら、ウェーハに損傷を与えないようにメディアをスクラブするための正確な温度設定も可能です。さらに、水はまた、温度を制御するのに役立つスクラビングチャンバーを通して循環されます。スクラバーの交換可能なブラシは、さまざまな洗浄技術に使用できます。これらのブラシは、異なる材料組成で利用可能であり、さまざまな用途に使用されています。この柔軟性により、スクラバーはフォトレジスト除去からエッチングクリーニングまで、幅広い作業に使用できます。スクラバーには高度なユーザーインターフェイスが装備されており、クリーニングメディアの種類、スクラビングフォース、スクラビング時間、チャンバー温度、ウェーハ表面タイプ、ウエハサイズなどの動作条件を選択できます。このシステムは、最大400mmウェーハに対応するように設計されており、フルオートメーションのためのさまざまな機器と接続することができます。さらに、ユニットには、迅速かつ簡単なトラブルシューティングを可能にするオンボード診断(OBD)マシンが含まれています。要するに、MICROTEC ASC 5500は、さまざまなアプリケーションに使用される効率的な自動スクラビングツールであり、ユーザーに精密洗浄機能を提供します。それは強力なモーター、調節可能なプラットホーム、交換可能なブラシおよび精密な操作を可能にする高度のユーザーインターフェイスが装備されています。オンボード診断アセットにより、潜在的な問題を迅速に特定できます。このスクラバーは、半導体デバイスの大量かつ高品質な生産に最適です。
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