中古 KANKEN TECHNO KT-1000FA #9114634 を販売中
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販売された
ID: 9114634
Scrubbers
650-900 degrees (950 degrees max)
Exhaust processors
800L/min
Includes: SiH4, TEOS, PH3, B2H, NF3.
KANKEN TECHNO KT-1000FAは、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造プロセス向けに設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。ウェーハやマスクの様々なサイズや形状からの汚染除去に対応できる、自動化された精密洗浄装置です。KT-1000FAは、限られたスペース内で洗浄する能力、異なる表面を効果的に処理する能力、生産ラインに簡単に統合する能力など、従来のスクラブ方法に比べていくつかの利点を提供します。KANKEN TECHNO KT-1000FAのキーコンポーネントは、スクラブや洗浄材を効果的に均一に配分できる特別設計のブラシヘッドです。この機能は、ウェーハとマスクのサイズに関係なく、偶発的な結果を保証します。ブラシはサーボモーターで駆動され、時計回りと反時計回りの両方を回転させることができます。これにより、幅広い動作を可能にし、非常に効率的な洗浄プロセスを実現します。さらに、ブラシヘッドは様々なタイプに素早く簡単に交換することができ、表面タイプによって異なるメディア素材やブラシのスタイルを使用することができます。ブラシヘッドに加えて、LCD読み出しKT-1000FA備えた正確でユーザーフレンドリーな制御システムを備えており、オペレータは一貫したクリーニングプロセスを維持することができます。この制御ユニットは、表面をスクラブし、メディアを適用することによって、ブラシの最適な速度と圧力を決定することができます。このマシンによって提供される自己診断により、オペレータはスクラビングプロセスで潜在的な問題を簡単に特定することができ、必要に応じて迅速かつ簡単に修正することができます。この高度に自動化されたプロセスには、潜在的なリスクからオペレータを保護するための高度な安全システムも装備されています。さらに、KANKEN TECHNO KT-1000FAの設計は、すべての接点を潤滑し、摩耗を最小限に抑えてウェーハまたはマスクの完全性を維持します。KT-1000FAは、信頼性の高い、繰り返し可能な洗浄プロセスを提供するように設計された機能豊富なツールです。その精密洗浄機能は、システムの安全メカニズムと多目的でユーザーフレンドリーな制御システムと組み合わされ、さまざまなマイクロエレクトロニクス製造プロセスに最適です。
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