中古 K&S 971 #9195855 を販売中

K&S 971ウェーハ&マスクスクラバーは、ウェーハやフォトレジストマスククリーニングに使用されるコンパクトで軽量で強力な多目的スクラバーです。これは、アルミニウム、石英、ガラスを含む単一または複数のマスクの湿式および乾式の化学スクラブ用に設計されています。971スクラバーは、フォトリソグラフィの過程でのウェーハ洗浄およびフォトレジスト、有機残留物、酸化物およびその他の表面汚染の除去のための信頼できる装置です。K&S 971ウェーハ&マスクスクラバーには2つのモードがあります。通常のスクラブモードとディープスクラブモード。ノーマルスクラブモードでは、スクラブヘッドが左右に振動し、ウェーハ表面に穏やかなスクラブ力が加わり、信頼性の高い一貫したクリーニングアクションを実現します。より永続的な材料のために、ディープスクラブモードは表面に損傷を与えないで残余を急速に取除くために積極的なスクラブモーションの範囲を適用します。971は様々なバスソリューションと互換性があります。調節可能な浴室は化学薬品の右の集中の異なった材料をターゲットにできる注文のクリーニングの解決を可能にします。さらに、独立したスクラビングチャンバーは、汚染物質が入浴するのを防ぎ、スクラブ中のウエハとの化学的相互作用を回避します。K&S 971は、スクラバー速度、振動の深さ、全体的なスクラバーのサイクルタイムなど、よりカスタマイズされたスクラブ性能のためのさまざまな動作パラメータを提供します。さらに、971には、スクラバーのパフォーマンスを監視し、メンテナンスサイクルを追跡する診断システムが内蔵されています。このシステムは、スクラバーのパフォーマンスを向上させるための診断フィードバックを提供します。K&S 971ウェーハおよびマスクスクラバーは、ウェーハおよびフォトリソグラフィープロセスのための最も効率的で信頼性の高いスクラバーです。その柔軟性と診断機能により、半導体業界で好ましい選択肢となり、高品質のウェーハおよびフォトリソグラフィ製品の生産を可能にしました。