中古 K&S 971 #9077085 を販売中

K&S 971は、半導体製造業向けに設計されたウェーハおよびマスクスクラバーです。製造工程でウェーハやマスクの表面をきれいにするために使用され、微細な粒子や汚れがないようにします。971は、ウェーハとマスクの両方の表面から粒子を除去するために、機械的攪拌と流体媒体材料の組み合わせを使用しています。K&S 971は、DCモータを駆動する機械式スクラビングアクションを採用しています。このモータは、0。5mmの振幅を持つ500RPMまでの振動を生成し、加工される材料の表面に大きな機械的摩耗をもたらします。スクラビングアクションは、特定のタイプの流体を利用して、ウェーハやマスクの表面に残っている可能性のある微細な汚染物質を分解して洗い流す統合化学洗浄装置によって拡張されます。971はまたユーザーが最適なクリーニングの行為を達成するために精密なスクラブ圧力およびノズルの角度を置くことを可能にする調節可能な圧力およびノズル制御の特徴を特色にします。これにより、スクラビング動作は、過度に研磨され、下の材料に損傷を与えていない間、任意の粒子を除去するのに十分な強力であることが保証されます。K&S 971は、スクラブ液から固体とエアロゾル粒子の両方を除去することができる自己完結濾過システムを内蔵しているため、液体が清潔に保たれ、粒子がクリーニングユニットに再循環される前に除去されることを保証します。また、スクラブ処理中にウェーハやマスクから除去された粒子を収集して保存する材料回収機もあります。この回収ツールは、スクラブ処理中に発生する廃棄物を減らすために重要です。971はまた、プロセスが完了した後、ユーザーが簡単かつ迅速にスクラビングチャンバーをきれいにすることができる自動チャンバークリーンアセットを備えています。このモデルは、チャンバー壁に残された粒子を洗い流し、スクラブ処理中に粒子が取り残されないようにします。さらに、K&S 971には、水密シールなどの幅広い安全機能があり、液体が装置から逃げるのを防ぎ、また、スクラブ中に発生する危険な蒸気やスプレーからオペレータを保護します。全体として、971は半導体製造工程のために設計された効率的で効果的なスクラバーです。これは、統合された機械的および化学的作用を備えており、ウェーハとマスクの両方の表面がきれいに保たれ、スクラブ処理中に汚染物質から解放されます。さらに、その調整可能な圧力およびノズル制御機能、自己完結のろ過システム、材料回収ユニット、および自動化されたチャンバークリーニングマシンはすべて、オペレータの安全性を確保しつつ、スクラブ性能を最大化するために一緒に動作します。