中古 JIUWEI TECH A 300 #9170641 を販売中

JIUWEI TECH A 300ウェーハ&マスクスクラバーは、半導体ウェーハおよびフォトマスク洗浄用に設計された自動洗浄ツールです。ロボットマニピュレータアームとクリーニングエアナイフを装備しています。300は、最大300mmウェーハとマスクサイズに対応できる広いチャンバークリーニングエリアで設計されています。ウェーハとマスクは、特別なローディングプレートを使用してチャンバーにしっかりと配置され、簡単に開閉することができます。ロボットアームは、特定の軌道に沿って移動し、クリーニングエリア上にウェーハまたはマスクを正確に配置するように設計されています。クリーニングエアナイフは、その速度と角度を柔軟に調整して、過酷な傷、ガウジング、またはウェーハ表面の汚れのない徹底的な洗浄を実現することができます。チャンバーには、24時間稼働できるダブルインテグレーテッドおよび独立したコンベアシステムも装備されています。エアナイフは、均一なクリーニングパラメータを作成し、ウェーハ表面との一定の接触を維持することができます。このチャンバーはまた、超低不活性ガス消費量と環境に優しい窒素（N2）パージサイクルで設計されています。JIUWEI TECH 300ウェーハとマスクスクラバーのユーザーインターフェイスは、リアルタイムの運用制御のための多段階アイコンベースの制御と監視システムを備えています。また、高度なプロセストラッキングとトレーサビリティソフトウェアが含まれているため、技術者はプロセスの問題を迅速に特定し、リアルタイムのプロセス調整を行うことができます。300ウェーハおよびマスクスクラバーは、高度な半導体技術の洗浄に最適です。高度なインテリジェントアルゴリズムを備えており、リソースを無駄にしたり、材料を損傷させたりすることなく、信頼性の高い効率的なクリーニングプロセスを保証します。システムの自動化と制御により、クリーニングプロセスのエラーが軽減され、最高の均一なウェーハ洗浄が一貫して実現されます。