中古 JAS 191 TM #9401541 を販売中

JAS 191 TMは、電子・半導体製造用に設計されたウェーハ・マスクスクラバーです。ウェーハフレームとマスクの両方の外面を自動的に洗浄し、洗浄することができます。浄化作用にDI水を使用し、複数の同時スクラブを実行することができます。このユニットは、1サイクルあたり24基板の容量を持ち、低粒子レベルを維持し、サブミクロンレベルにきれいにするように設計されています。機械は耐食性のステンレス鋼の構造から頭上式の汚染を減らすためにステンレス鋼シートのカバーが付いている成っています。ハウジングは、オプションのフード再循環を備えた取り外し可能なドア、スクラブサイクルの高さを調整する調整可能なレール、およびDI水圧とスクラブ動作を調整する調整可能なフローバルブを備えています。191 TMは直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスで動作します。制御システムにより、ユーザーは特定の要件を満たすために、スクラブサイクルの時間、圧力、および動作を素早く設定および調整できます。スクラバーには、最適な結果を得るためにスクラブサイクルを調整する自動サイクル最適化機能もあります。JAS 191 TMは、ウェーハフレームやマスクを効果的に洗浄するために、回転ブラシスクラビングアクションを使用しています。クリーニングソリューションは、低圧ポンプによって提供され、基板の表面から汚染を緩めます。回転ブラシはマスクまたはウェーハの輪郭に従い、高精度で徹底的なクリーンを提供します。DI水を使用した最終的な洗浄サイクルは、完全にきれいで乾燥した基板を残して、プロセスを完了します。このシステムは、ESD互換性やNEBS認証など、業界最高水準の規格を満たすように設計されています。既存の半導体やエレクトロニクス製造プロセスに容易に統合できるように設計されています。機械は手動または自動モードで作動させ、さまざまな基質のサイズに対応するために容易に調節することができます。191 TMには、低圧安全スイッチ、DIリンスタンク用のこぼれ封じ込め、ユニットに近接して作業する人々のための明確な保護シールドなど、多くの安全機能が組み込まれています。CE認証を取得しており、安全基準と排出基準の両方を満たしています。