中古 IPI SBW-SA #9185716 を販売中

IPI SBW-SAは、半導体ウェーハおよびその他の基板を再利用および除染するために設計された自動ウェーハおよびマスクスクラバーです。繊細な素材を洗浄するデュアルステージプロセスと、独自のカスタムビルトノズルにより、より効率的な洗浄を実現します。この機械はプリスクラビングプロセスを使用して、ウェーハまたはマスクから汚染されたほこり、油、破片を緩めて除去します。このタスクを達成するために、SBW-SAは、最大2つの異なるクリーニングソリューションでシーケンスのエンベロープサイクルを実行します。プレスクラブ後、機械は物理的および化学的洗浄プロセスの両方でスクラブの第2段階に進みます。サイクルは、高圧超音波スクラブで始まります、これは、真空または強制窒素乾燥に続いて、任意の粒子をabrades。IPI SBW-SAの物理的なクリーニングプロセスには、高度なロボティクスが含まれています。最先端の振動ノズルは、ウェーハまたはマスクの表面全体に均一な洗浄パターンを提供することにより、腐食が発生しないようにします。圧力および温度はまたクリーニングされる材料によって調節され、カスタマイズすることができます。SBW-SAが使用するカスタムデザインのノズルは特に注目に値します。サイクル中に酸素と窒素の方向ラッシュを交互に利用することによって、酸素分子は汚染物質を酸化するためにポンプで送り出され、窒素分子は酸化状態を修正するためにポンプで送られます。これにより、酸化または腐食の可能性がなくなり、クリーニング効果が反転します。IPI SBW-SAは、ウェーハやマスクスクラビングのリーディングカンパニーと考えられており、誘電体の基板やマスクを回収・除染する手段として半導体業界において信頼されています。デュアルステージのプリスクラビングプロセスと高度なロボティクスと効率的なカスタムデザインのノズルを使用して、このマシンは繊細な材料を洗浄するための信頼性が高く効果的なシステムです。